Àwọn ohun èlò ìbòrí tó ní ìdàpọ̀ bíi magnetron sputtering àti cathodic multi-arc ion coating lè ṣiṣẹ́ lọ́tọ̀ọ̀tọ̀ àti ní àkókò kan náà; a lè kó fíìmù irin mímọ́, fíìmù onídàpọ̀ irin tàbí fíìmù onídàpọ̀ sí i; ó lè jẹ́ ìpele kan ṣoṣo ti fíìmù àti fíìmù onídàpọ̀ onídàpọ̀.
Awọn anfani rẹ bi atẹle:
Kì í ṣe pé ó ń so àwọn àǹfààní onírúurú ìbòrí ion pọ̀ nìkan, ó sì ń gba ìpèsè àti ìfipamọ́ fíìmù tín-ín-rín fún onírúurú pápá ìlò, ṣùgbọ́n ó tún ń gba ìfipamọ́ àti ìpèsè àwọn fíìmù monolithic onípele-pupọ tàbí àwọn fíìmù onípele-pupọ nínú yàrá ìbòrí kan náà ní àkókò kan náà.
Àwọn ìlò àwọn fẹlẹfẹlẹ fiimu tí a fi pamọ́ ni a lò ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ọ̀nà. Àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ rẹ̀ wà ní oríṣiríṣi ọ̀nà, àwọn tí a sábà máa ń lò gẹ́gẹ́ bí àtẹ̀lé yìí:
(1) Àdàpọ̀ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra magnetron tí kò ní ìwọ́ntúnwọ́nsí àti ìfọ́mọ́ra ion cathodic.
Ẹ̀rọ rẹ̀ ni a fi hàn gẹ́gẹ́ bí àtẹ̀lé yìí. Ó jẹ́ ẹ̀rọ ìbòrí àdàpọ̀ ti ìbòrí magnetron columnar àti planar cathodic arc ion coating, èyí tí ó yẹ fún ìbòrí ohun èlò àti ìbòrí ohun ọ̀ṣọ́. Fún ìbòrí ohun èlò, a máa ń lo ìbòrí cathodic arc ion coating àkọ́kọ́ fún ìbòrí ìpele ìpìlẹ̀, lẹ́yìn náà a máa ń lo ìbòrí column magnetron fún ìbòrí nitride àti àwọn ìpele fíìmù mìíràn láti gba fíìmù ojú irin iṣẹ́ ṣíṣe tí ó péye.
Fún ìbòrí ohun ọ̀ṣọ́, a lè kọ́kọ́ fi àwọ̀ cathodic arc bo àwọn fíìmù ohun ọ̀ṣọ́ TiN àti ZrN, lẹ́yìn náà a lè fi irin bo wọ́n nípa lílo àwọn ibi tí magnetron ń ta sí, ipa ìbòrí náà sì dára gan-an.
(2) Àdàpọ̀ àwọn ọ̀nà ìbòrí ion onípele méjì àti ti cathode arc. A fi ẹ̀rọ náà hàn gẹ́gẹ́ bí àtẹ̀lé yìí. A ń lo ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfojúsùn méjì onípele méjì, nígbà tí àwọn ìfojúsùn méjì onípele méjì tí a so pọ̀ mọ́ ìpèsè agbára ìgbàlódé àárín, kìí ṣe pé ó borí ìpalára ìfojúsùn ti ìfọ́ DC, iná àti àwọn àléébù míràn nìkan; ó sì lè fi fíìmù dídára oxide Al203, SiO2, sí i, kí resistance oxidation ti àwọn ẹ̀yà tí a fi bo ti pọ̀ sí i àti kí ó sunwọ̀n sí i. Àdàpọ̀ onípele púpọ̀ tí a fi sínú àárín yàrá ìgbàlódé, a lè lo ohun èlò ìfojúsùn Ti àti Zr, kìí ṣe láti pa àwọn àǹfààní ti ìwọ̀n ìpínyà onípele púpọ̀, ìwọ̀n ìfojúsùn mọ́, ṣùgbọ́n ó tún lè dín "àwọn ìṣàn" kù ní ọ̀nà ìfojúsùn onípele kékeré, ó lè fi sílẹ̀ kí ó sì pèsè porosity díẹ̀ ti àwọn fíìmù irin, àwọn fíìmù onípele méjì. Tí a bá lo Al àti Si gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìfojúsùn fún àwọn ìfojúsùn magnetron onípele méjì tí a fi sínú ẹ̀gbẹ́ náà, a lè fi fíìmù irin-seramiki Al203 tàbí Si0 sílẹ̀ kí a sì pèsè wọn. Ni afikun, ọpọlọpọ awọn ọkọ kekere ti orisun evaporation multi-arc le wa ni fi sori ẹrọ ni ẹba, ati pe ohun elo ti a fojusi rẹ le jẹ Cr tabi Ni, ati awọn fiimu irin ati awọn fiimu akojọpọ onipele pupọ le wa ni gbigbe ati pese. Nitorinaa, imọ-ẹrọ ti a fi awọ ṣe yi jẹ imọ-ẹrọ ti a fi awọ ṣe pẹlu ọpọlọpọ awọn ohun elo.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù kọkànlá-08-2022