تقنية الترسيب المغناطيسي والطلاء الأيوني متعدد الأقواس الكاثودية المركبة

يمكن لمعدات الطلاء المركب للرش المغناطيسي وطلاء الأيونات الكاثودي متعدد الأقواس أن تعمل بشكل منفصل ومتزامن؛ ويمكنها ترسيب وإعداد طبقة معدنية نقية أو طبقة مركبة معدنية أو طبقة مركبة؛ ويمكن أن تكون طبقة واحدة من الفيلم وطبقة مركبة متعددة الطبقات.

مزاياها كالتالي:
إنها لا تجمع فقط بين مزايا الطلاءات الأيونية المختلفة وتأخذ في الاعتبار تحضير وترسيب الأغشية الرقيقة لمختلف مجالات التطبيق، ولكنها تسمح أيضًا بترسيب وتحضير الأغشية المتجانسة متعددة الطبقات أو الأغشية المركبة متعددة الطبقات في نفس حجرة الطلاء الفراغي في وقت واحد.
تُستخدم تطبيقات طبقات الأغشية المترسبة على نطاق واسع، وتأتي تقنياتها بأشكال متنوعة، ومنها ما يلي:
(1) مركب من تقنية رش المغنطرون غير المتوازن وتقنية الطلاء الأيوني الكاثودي.
يُوضح الشكل التالي الجهاز. وهو عبارة عن جهاز طلاء مركب يعتمد على هدف المغنطرون العمودي وطلاء الأيونات بالقوس الكاثودي المستوي، وهو مناسب لطلاء الأدوات بالأغشية المركبة وطلاء الأغشية الزخرفية. بالنسبة لطلاء الأدوات، يُستخدم طلاء الأيونات بالقوس الكاثودي أولاً لطلاء الطبقة الأساسية، ثم يُستخدم هدف المغنطرون العمودي لترسيب طبقة النيتريد وطبقات أخرى للحصول على غشاء سطحي عالي الدقة للأداة.
بالنسبة للطلاء الزخرفي، يمكن ترسيب أغشية TiN وZrN الزخرفية عن طريق طلاء القوس الكاثودي أولاً، ثم يتم تطعيمها بالمعادن باستخدام أهداف المغنطرون، ويكون تأثير التطعيم جيدًا جدًا.

(2) تقنية طلاء الأيونات المركبة باستخدام المغنطرون ثنائي المستوى وقوس الكاثود العمودي. يوضح الشكل التالي الجهاز. يستخدم الجهاز تقنية الهدف المزدوج المتقدمة، حيث يتم ربط هدفين متجاورين بمصدر طاقة متوسط ​​التردد، مما يتغلب على عيوب مثل تسمم الهدف الناتج عن الترسيب بالرش المباشر، والحرائق، وغيرها. كما يتيح ترسيب أغشية أكسيد عالية الجودة من Al2O3 وSiO2، مما يزيد من مقاومة الأكسدة للأجزاء المطلية. يتم تثبيت هدف متعدد الأقواس عمودي في مركز حجرة التفريغ، ويمكن استخدام التيتانيوم والزركونيوم كمادة للهدف، مما يحافظ على مزايا معدل التفكك العالي ومعدل الترسيب العالي للأقواس المتعددة، ويقلل بشكل فعال من "القطرات" أثناء عملية الترسيب على هدف متعدد الأقواس صغير الحجم، مما يسمح بترسيب وتحضير أغشية معدنية وأغشية مركبة منخفضة المسامية. في حال استخدام الألومنيوم والسيليكون كمواد للهدف للمغنطرون ثنائي المستوى المثبت على المحيط، يمكن ترسيب وتحضير أغشية معدنية خزفية من Al2O3 أو SiO2. بالإضافة إلى ذلك، يمكن تركيب عدة مستويات صغيرة من مصدر تبخير متعدد الأقواس على المحيط، ويمكن أن تكون المادة المستهدفة هي الكروم أو النيكل، ويمكن ترسيب وتحضير أغشية معدنية وأغشية مركبة متعددة الطبقات. لذلك، تُعد تقنية الطلاء المركب هذه تقنية طلاء مركبة متعددة التطبيقات.