رش المغنطرون وتقنية طلاء الأيونات الكاثودية المتعددة الأقواس

يمكن لمعدات الطلاء المركب للطلاء المغنطروني والطلاء الكاثودي متعدد القوس الأيوني أن تعمل بشكل منفصل وفي نفس الوقت ؛يمكن ترسيبها وتحضيرها فيلم معدني نقي أو فيلم مركب معدني أو فيلم مركب ؛يمكن أن يكون طبقة واحدة من الفيلم وفيلم مركب متعدد الطبقات.

مزاياه على النحو التالي:
إنه لا يجمع فقط مزايا الطلاءات الأيونية المختلفة ويأخذ في الاعتبار تحضير وترسيب الأغشية الرقيقة لمختلف مجالات التطبيق ، ولكنه يسمح أيضًا بترسيب وإعداد أفلام متجانسة متعددة الطبقات أو أفلام مركبة متعددة الطبقات في نفس الفراغ غرفة طلاء في وقت واحد.
تستخدم تطبيقات طبقات الفيلم المودعة على نطاق واسع تقنياتها في مجموعة متنوعة من الأشكال ، النموذجية على النحو التالي:
(1) مركب الاخرق المغنطروني غير المتوازن وتكنولوجيا الطلاء الأيوني الكاثودي.
يظهر الجهاز على النحو التالي.إنها عبارة عن معدات طلاء مركبة لطلاء المغنطرون العمودي والطلاء الأيوني القوسي المهبطي المستوي ، وهو مناسب لكل من فيلم طلاء الأداة المركب وطلاء الفيلم الزخرفي.بالنسبة لطلاء الأداة ، يتم استخدام طلاء أيون القوس الكاثودي أولاً لطلاء الطبقة الأساسية ، ثم يتم استخدام هدف المغنطرون للعمود لترسيب النيتريد وطبقات الفيلم الأخرى للحصول على فيلم سطح أداة معالجة عالية الدقة.
بالنسبة للطلاء الزخرفي ، يمكن ترسيب أغشية TiN و ZrN المزخرفة بطبقة قوس كاثودي أولاً ، ثم مخدر بالمعدن باستخدام أهداف مغنطرونية ، ويكون تأثير المنشطات جيدًا جدًا.

(2) مركب المغنطرون ثنائي المستوى وتقنيات طلاء قوس الكاثود الأيوني.يظهر الجهاز على النحو التالي.يتم استخدام تقنية الهدف المزدوج المتقدمة ، عندما يرتبط هدفان مزدوجان جنبًا إلى جنب بمصدر طاقة متوسط ​​التردد ، فإنه لا يتغلب فقط على التسمم المستهدف من رشاشات التيار المستمر والحريق والعيوب الأخرى ؛ويمكن ترسيب Al203 ، فيلم جودة أكسيد SiO2 ، بحيث زادت مقاومة الأكسدة للأجزاء المطلية وتحسنت.هدف عمودي متعدد القوس مثبت في وسط غرفة التفريغ ، يمكن استخدام المادة المستهدفة Ti و Zr ، ليس فقط للحفاظ على مزايا معدل التفكك العالي للقوس المتعدد ، ومعدل الترسيب ، ولكن أيضًا يمكن أن تقلل بشكل فعال "القطرات" في عملية الترسيب الهدف متعدد القوس للطائرة الصغيرة ، يمكن أن تودع وتحضير مسامية منخفضة للأفلام المعدنية والأفلام المركبة.إذا تم استخدام Al و Si كمواد مستهدفة للأهداف المغنطرونية المزدوجة المستوية المثبتة في المحيط ، فيمكن ترسيب وتحضير أغشية Al203 أو Si0 المعدنية الخزفية.بالإضافة إلى ذلك ، يمكن تثبيت طائرات صغيرة متعددة من مصدر التبخر متعدد الأقواس في المحيط ، ويمكن أن تكون المادة المستهدفة هي Cr أو Ni ، ويمكن ترسيب وتحضير الأغشية المعدنية والأغشية المركبة متعددة الطبقات.لذلك ، فإن تقنية الطلاء المركب هذه هي تقنية طلاء مركب مع تطبيقات متعددة.