Echipamentul de acoperire compozit de pulverizare cu magnetron și acoperire cu ioni catodic multi-arc poate funcționa separat și simultan;poate fi depus și preparat film metalic pur, film compus metalic sau film compozit;poate fi un singur strat de film și un film compozit cu mai multe straturi.
Avantajele sale după cum urmează:
Nu numai că combină avantajele diferitelor acoperiri ionice și ia în considerare pregătirea și depunerea peliculei subțiri pentru diverse domenii de aplicare, dar permite și depunerea și prepararea filmelor monolitice multistrat sau a filmelor compozite multistrat în același vid. camera de acoperire la un moment dat.
Aplicațiile straturilor de film depuse sunt utilizate pe scară largă tehnologiile sale sunt sub o varietate de forme, cele tipice după cum urmează:
(1) Compus al tehnologiei de pulverizare cu magnetron neechilibrat și placare cu ioni catodici.
Dispozitivul său este prezentat după cum urmează.Este un echipament de acoperire compus din țintă de magnetron columnar și acoperire cu ioni cu arc catodic plan, care este potrivit atât pentru filmul compus de acoperire pentru instrumente, cât și pentru filmul decorativ.Pentru acoperirea sculei, acoperirea cu ion arc catodic este utilizată mai întâi pentru stratul de acoperire de bază, iar apoi ținta magnetronului coloană este utilizată pentru depunerea de nitrură și alte straturi de film pentru a obține o peliculă de suprafață a instrumentului de prelucrare de înaltă precizie.
Pentru acoperirea decorativă, filmele decorative TiN și ZrN pot fi depuse mai întâi prin acoperire cu arc catodic, apoi dopate cu metal folosind ținte de magnetron, iar efectul de dopaj este foarte bun.
(2) Compusul tehnicilor de acoperire cu ioni cu arc cu magnetron biplan și catod de coloană.Dispozitivul este prezentat după cum urmează.Se folosește tehnologia avansată a țintei duble, atunci când două ținte gemene alăturate sunt conectate la sursa de alimentare cu frecvență medie, nu numai că depășește otrăvirea țintei de pulverizare DC, foc și alte dezavantaje;și poate depune Al203, film de calitate oxid de SiO2, astfel încât rezistența la oxidare a pieselor acoperite să fi crescut și îmbunătățit.Țintă multi-arc coloană instalată în centrul camerei de vid, materialul țintă poate fi folosit Ti și Zr, nu numai pentru a menține avantajele ratei mari de disociere multi-arc, rata de depunere, dar și poate reduce eficient „picăturile” în procesul de depunere a țintei cu mai multe arcuri în plan mic, poate depune și prepara o porozitate scăzută de filme metalice, filme compuse.Dacă Al și Si sunt utilizate ca materiale țintă pentru țintele de magnetron planare gemene instalate la periferie, se pot depune și se prepară filme metalo-ceramice Al203 sau Si0.În plus, la periferie pot fi instalate mai multe planuri mici ale sursei de evaporare multi-arc, iar materialul său țintă poate fi Cr sau Ni, iar filmele metalice și filmele compozite multistrat pot fi depuse și preparate.Prin urmare, această tehnologie de acoperire compozită este o tehnologie de acoperire compozită cu aplicații multiple.
Ora postării: 08-nov-2022