Qalabka dahaadhka isku-dhafan ee magnetron sputtering iyo dahaarka ion-ka ee cathodic multi-arc ayaa si gaar ah iyo isku mar u shaqayn kara; waa la dhigi karaa oo la diyaarin karaa filim bir saafi ah, filim bir ah ama filim isku-dhafan; wuxuu noqon karaa hal lakab oo filim ah iyo filim isku-dhafan oo lakab badan leh.
Faa'iidooyinka ay leedahay sida soo socota:
Ma aha oo kaliya inay isku darayso faa'iidooyinka dahaarka kala duwan ee ion-ka waxayna tixgelinaysaa diyaarinta iyo dhigista filimka khafiifka ah ee loogu talagalay goobaha kala duwan ee codsiga, laakiin sidoo kale waxay u oggolaanaysaa dhigista iyo diyaarinta filimada monolithic-ga ee lakabka badan leh ama filimada isku-dhafan ee lakabka badan leh hal mar qolka dahaarka faaruq ah.
Tiknoolajiyada loo adeegsado lakabka filimka ee la shubay ayaa si ballaaran loo isticmaalaa, waxaana jira noocyo kala duwan oo ah kuwa caadiga ah sida soo socota:
(1) Isku-dhafka isku-darka magnetron-ka aan sinnayn iyo tignoolajiyada dahaarka ion-ka ee cathodic.
Qalabkeeda waxaa lagu muujiyey sida soo socota. Waa qalab dahaadh isku dhafan oo ka kooban bartilmaameedka magnetron-ka columnar iyo dahaadh cathodic arc ah oo planar ah, kaas oo ku habboon labadaba filimka isku-dhafka ah ee dahaarka qalabka iyo dahaarka filimka qurxinta. Dahaarka qalabka, dahaarka cathodic arc ion waxaa marka hore loo isticmaalaa dahaarka lakabka salka, ka dibna bartilmaameedka magnetron-ka column-ka waxaa loo isticmaalaa dhigista nitride iyo lakabyada kale ee filimka si loo helo filim dusha sare ah oo qalab farsamayn sax ah leh.
Dahaarka qurxinta, filimada qurxinta TiN iyo ZrN waxaa marka hore lagu shubi karaa dahaarka qaansada cathodic, ka dibna lagu shubi karaa bir iyadoo la isticmaalayo bartilmaameedyada magnetron, saameynta daawadana aad bay u fiican tahay.
(2) Isku-dhafka farsamooyinka dahaarka magnetron-ka mataanaha ah iyo tiirka cathode arc ion. Qalabka waxaa lagu muujiyey sida soo socota. Waxaa loo isticmaalaa tiknoolajiyada bartilmaameedka mataanaha ah ee horumarsan, marka laba bartilmaameed oo mataano ah oo dhinac-dhinac ah oo ku xiran korontada soo noqnoqota ee dhexdhexaadka ah, ma aha oo kaliya inay ka gudubto sunta bartilmaameedka ee faafinta DC, dabka iyo cilladaha kale; waxayna dhigi kartaa filimka tayada oksaydhka Al203, SiO2, si iska caabinta oksaydhka ee qaybaha dahaaran ay u korodhay oo ay u fiicnaatay. Bartilmaameedka qaansada badan ee columnar ee lagu rakibay bartamaha qolka faaruqinta, walxaha bartilmaameedka ah waxaa loo isticmaali karaa Ti iyo Zr, ma aha oo kaliya in la ilaaliyo faa'iidooyinka heerka kala-goynta badan ee qaansada badan, heerka dhigista, laakiin sidoo kale si wax ku ool ah ayuu u yareyn karaa "dhibcaha" habka dhigista bartilmaameedka badan ee diyaarad yar, wuxuu dhigi karaa oo diyaarin karaa dalool hoose oo filimaan bir ah, filimaan isku dhafan. Haddii Al iyo Si loo isticmaalo agabka bartilmaameedka ee bartilmaameedyada magnetron-ka mataanaha ah ee lagu rakibay agagaarka, filimada birta-dhoobada Al203 ama Si0 waa la dhigi karaa oo la diyaarin karaa. Intaa waxaa dheer, diyaarado yaryar oo badan oo ah isha uumiga badan ayaa lagu rakibi karaa agagaarka, walxaha bartilmaameedkooduna waxay noqon karaan Cr ama Ni, filimada birta ah iyo filimada isku-dhafan ee lakabka badan lehna waa la dhigi karaa oo la diyaarin karaa. Sidaa darteed, tiknoolajiyadan dahaadhka isku-dhafan waa tignoolajiyad dahaadh isku-dhafan oo leh codsiyo badan.
Waqtiga boostada: Noofambar-08-2022