Lisebelisoa tsa ho koahela tse kopantsoeng tsa magnetron sputtering le cathodic multi-arc ion coating li ka sebetsa ka thoko le ka nako e le 'ngoe; li ka beoa le ho lokisoa filimi e hloekileng ea tšepe, filimi ea tšepe e kopantsoeng kapa filimi e kopantsoeng; e ka ba lera le le leng la filimi le filimi e kopantsoeng ea mekhahlelo e mengata.
Melemo ea eona ke ena:
Ha e kopanye feela melemo ea liphahlo tse fapaneng tsa ion 'me e ela hloko ho lokisoa le ho beoa ha filimi e tšesaane bakeng sa masimo a fapaneng a ts'ebeliso, empa hape e lumella ho beoa le ho lokisoa ha lifilimi tsa monolithic tse nang le mekhahlelo e mengata kapa lifilimi tse kopaneng tse nang le mekhahlelo e mengata ka phapusing e le' ngoe ea ho beoa ha vacuum ka nako e le 'ngoe.
Mekhoa ea ho sebelisa likarolo tsa filimi e bolokiloeng e sebelisoa haholo, 'me theknoloji ea eona e ka mefuta e fapaneng, e tloaelehileng ke ena:
(1) Motsoako oa theknoloji ea ho phunya ha magnetron e seng ea tekano le ea ho phunya ha ion ea cathodic.
Sesebelisoa sa sona se bontšoa ka tsela e latelang. Ke sesebelisoa sa ho koahela ka motsoako sa sepheo sa columnar magnetron le seaparo sa planar cathodic arc ion, se loketseng filimi ea motsoako oa ho koahela ka sesebelisoa le seaparo sa filimi se khabisitsoeng. Bakeng sa sekoahelo sa sesebelisoa, sekoahelo sa cathodic arc ion se sebelisoa pele bakeng sa sekoahelo sa lera la motheo, ebe sepheo sa column magnetron se sebelisoa bakeng sa ho beha nitride le likarolo tse ling tsa filimi ho fumana filimi ea bokaholimo ba sesebelisoa sa ts'ebetso e nepahetseng haholo.
Bakeng sa ho roala mekhabiso, lifilimi tsa mekhabiso tsa TiN le ZrN li ka beoa ka ho roala ka arc ea cathodic pele, ebe li tšeloa ka tšepe ho sebelisoa lipheo tsa magnetron, 'me phello ea ho sebelisa doping e ntle haholo.
(2) Motsoako oa mahlale a mabeli a magnetron le mekhoa ea ho koahela arc ion ea cathode ea column. Sesebelisoa se bontšoa ka tsela e latelang. Se sebelisoa theknoloji e tsoetseng pele ea sepheo sa mafahla, ha lipheo tse peli tse peli tse amanang le phepelo ea motlakase oa maqhubu a mahareng, ha se hlōle feela chefo ea sepheo sa DC sputtering, mollo le mathata a mang; 'me se ka beha filimi ea boleng ba Al203, SiO2 oxide, e le hore khanyetso ea oxidation ea likarolo tse koahetsoeng e eketsehe le ho ntlafala. Sepheo sa Columnar multi-arc se kentsoeng bohareng ba kamore ea vacuum, thepa ea sepheo e ka sebelisoa Ti le Zr, eseng feela ho boloka melemo ea sekhahla se phahameng sa karohano ea multi-arc, sekhahla sa ho beha, empa hape se ka fokotsa "marotholi" ka katleho ts'ebetsong ea ho beha sepheo sa multi-arc se senyenyane, se ka beha le ho lokisa porosity e tlase ea lifilimi tsa tšepe, lifilimi tsa compound. Haeba Al le Si li sebelisoa e le thepa ea sepheo bakeng sa lipheo tsa twin planar magnetron tse kentsoeng moeling, lifilimi tsa tšepe tsa Al203 kapa Si0 li ka beoa le ho lokisoa. Ho phaella moo, difofane tse ngata tse nyane tsa mohlodi wa mouoane wa arc tse ngata di ka kenngwa pela pela pela teraka, mme thepa ya yona e ka ba Cr kapa Ni, mme difilimi tsa tshepe le difilimi tse kopaneng tsa mekhahlelo e mengata di ka bewa le ho lokiswa. Ka hona, theknoloji ena ya ho kwahela e kopaneng ke theknoloji ya ho kwahela e kopaneng e nang le ditshebediso tse ngata.
Nako ea poso: Pulungoana-08-2022