ឧបករណ៍ថ្នាំកូតសមាសធាតុនៃការបាញ់ម៉ាញ៉េទិចត្រុង និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងពហុធ្នូកាតូតអាចដំណើរការដោយឡែកពីគ្នា និងក្នុងពេលដំណាលគ្នា; អាចត្រូវបានដាក់ និងរៀបចំខ្សែភាពយន្តលោហៈសុទ្ធ ខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុលោហៈ ឬខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុ; អាចជាខ្សែភាពយន្តស្រទាប់តែមួយ និងខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុច្រើនស្រទាប់។
គុណសម្បត្តិរបស់វាដូចខាងក្រោម៖
វាមិនត្រឹមតែរួមបញ្ចូលគ្នានូវគុណសម្បត្តិនៃថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងផ្សេងៗ និងគិតគូរពីការរៀបចំ និងការដាក់ស្រទាប់ស្តើងសម្រាប់វិស័យផ្សេងៗនៃការអនុវត្តប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងអនុញ្ញាតឱ្យមានការដាក់ស្រទាប់ និងការរៀបចំខ្សែភាពយន្ត monolithic ច្រើនស្រទាប់ ឬខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុច្រើនស្រទាប់នៅក្នុងបន្ទប់ថ្នាំកូតសុញ្ញากาศដូចគ្នាក្នុងពេលតែមួយ។
ការអនុវត្តស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ បច្ចេកវិទ្យារបស់វាមានទម្រង់ជាច្រើន ដែលមានលក្ខណៈធម្មតាដូចខាងក្រោម៖
(1) សមាសធាតុនៃការបាញ់ម៉ាញ៉េទិចដែលមិនមានលំនឹង និងបច្ចេកវិទ្យាដាក់អ៊ីយ៉ុងកាតូត។
ឧបករណ៍របស់វាត្រូវបានបង្ហាញដូចខាងក្រោម។ វាគឺជាឧបករណ៍ថ្នាំកូតសមាសធាតុនៃគោលដៅម៉ាញ៉េទិចជួរឈរ និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូតប្លង់ ដែលស័ក្តិសមសម្រាប់ទាំងខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុថ្នាំកូតឧបករណ៍ និងថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្តតុបតែង។ សម្រាប់ការថ្នាំកូតឧបករណ៍ ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូតត្រូវបានប្រើជាមុនសិនសម្រាប់ថ្នាំកូតស្រទាប់មូលដ្ឋាន ហើយបន្ទាប់មកគោលដៅម៉ាញ៉េទិចជួរឈរត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការដាក់នីទ្រីត និងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តផ្សេងទៀត ដើម្បីទទួលបានខ្សែភាពយន្តផ្ទៃឧបករណ៍ដំណើរការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។
សម្រាប់ថ្នាំកូតតុបតែង ខ្សែភាពយន្តតុបតែង TiN និង ZrN អាចត្រូវបានដាក់ដោយថ្នាំកូត cathodic arc ជាមុនសិន ហើយបន្ទាប់មកបន្ថែមសារធាតុ doping ជាមួយលោហៈដោយប្រើគោលដៅ magnetron ហើយប្រសិទ្ធភាព doping គឺល្អណាស់។
(2) សមាសធាតុនៃបច្ចេកទេសថ្នាំកូតម៉ាញ៉េត្រុងប្លង់ភ្លោះ និងអ៊ីយ៉ុងកាតូតធ្នូជួរឈរ។ ឧបករណ៍នេះត្រូវបានបង្ហាញដូចខាងក្រោម។ វាត្រូវបានប្រើបច្ចេកវិទ្យាគោលដៅភ្លោះកម្រិតខ្ពស់ នៅពេលដែលគោលដៅភ្លោះពីរជាប់គ្នាភ្ជាប់ទៅនឹងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប្រេកង់មធ្យម វាមិនត្រឹមតែយកឈ្នះលើការពុលគោលដៅនៃការបាញ់ថ្នាំ DC ភ្លើង និងគុណវិបត្តិផ្សេងទៀតប៉ុណ្ណោះទេ។ ហើយអាចដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីដ Al203, SiO2 ដែលមានគុណភាព ដូច្នេះភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មនៃផ្នែកដែលស្រោបបានកើនឡើង និងប្រសើរឡើង។ គោលដៅពហុធ្នូជួរឈរដែលបានដំឡើងនៅកណ្តាលនៃបន្ទប់បូមធូលី សម្ភារៈគោលដៅអាចត្រូវបានប្រើ Ti និង Zr មិនត្រឹមតែរក្សាគុណសម្បត្តិនៃអត្រាបំបែកពហុធ្នូខ្ពស់ អត្រាដាក់ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងអាចកាត់បន្ថយ "ដំណក់ទឹក" យ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពនៅក្នុងដំណើរការនៃការដាក់គោលដៅពហុធ្នូប្លង់តូច អាចដាក់ និងរៀបចំ porosity ទាបនៃខ្សែភាពយន្តលោហៈ ខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុ។ ប្រសិនបើ Al និង Si ត្រូវបានប្រើជាសម្ភារៈគោលដៅសម្រាប់គោលដៅម៉ាញ៉េត្រុងប្លង់ភ្លោះដែលបានដំឡើងនៅបរិវេណ ខ្សែភាពយន្តលោហៈ-សេរ៉ាមិច Al203 ឬ Si0 អាចដាក់ និងរៀបចំបាន។ លើសពីនេះ ផ្ទៃតូចៗជាច្រើននៃប្រភពហួតពហុធ្នូអាចត្រូវបានដំឡើងនៅបរិវេណ ហើយសម្ភារៈគោលដៅរបស់វាអាចជា Cr ឬ Ni ហើយខ្សែភាពយន្តដែក និងខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុច្រើនស្រទាប់អាចត្រូវបានដាក់និងរៀបចំ។ ដូច្នេះ បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតសមាសធាតុនេះគឺជាបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតសមាសធាតុដែលមានកម្មវិធីច្រើន។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែវិច្ឆិកា-០៨-២០២២