Gall offer cotio cyfansawdd o magnetron sputtering a chaenen ïon aml-arc cathodig weithio ar wahân ac ar yr un pryd;gellir ei adneuo a'i baratoi ffilm fetel pur, ffilm cyfansawdd metel neu ffilm gyfansawdd;gall fod yn haen sengl o ffilm a ffilm gyfansawdd aml-haen.
Mae ei fanteision fel a ganlyn:
Mae nid yn unig yn cyfuno manteision haenau ïon amrywiol ac yn ystyried paratoi a dyddodiad ffilm denau ar gyfer gwahanol feysydd cymhwyso, ond hefyd yn caniatáu dyddodi a pharatoi ffilmiau monolithig aml-haen neu ffilmiau cyfansawdd aml-haen yn yr un gwactod. siambr cotio ar un adeg.
Mae cymwysiadau haenau ffilm wedi'u hadneuo yn cael eu defnyddio'n helaeth, mae ei dechnolegau mewn amrywiaeth o ffurfiau, y rhai nodweddiadol fel a ganlyn:
(1) Mae'r cyfansawdd o di-ecwilibriwm magnetron sputtering a thechnoleg platio ïon cathodic.
Dangosir ei ddyfais fel a ganlyn.Mae'n offer cotio cyfansawdd o darged magnetron colofnog a gorchudd ïon arc cathodig planar, sy'n addas ar gyfer ffilm cyfansawdd cotio offer a gorchudd ffilm addurniadol.Ar gyfer cotio offer, defnyddir y cotio ïon arc cathodig yn gyntaf ar gyfer y cotio haen sylfaen, ac yna defnyddir y targed magnetron colofn ar gyfer dyddodiad nitrid a haenau ffilm eraill i gael ffilm arwyneb offer prosesu manwl uchel.
Ar gyfer cotio addurniadol, gellir adneuo ffilmiau addurnol TiN a ZrN trwy orchudd arc cathodig yn gyntaf, ac yna eu dopio â metel gan ddefnyddio targedau magnetron, ac mae'r effaith dopio yn dda iawn.
(2) Mae cyfansawdd magnetron awyren twin a cholofn catod arc ïon araenu technegau.Dangosir y ddyfais fel a ganlyn.Fe'i defnyddir y dechnoleg targed deuol uwch, pan fydd dau darged deuol ochr-yn-ochr yn gysylltiedig â'r cyflenwad pŵer amledd canolig, nid yn unig yn goresgyn y gwenwyn targed o sputtering DC, tân ac anfanteision eraill;a gall adneuo Al203, ffilm ansawdd ocsid SiO2, fel bod ymwrthedd ocsidiad y rhannau gorchuddio wedi cynyddu a gwella.Targed aml-arc Colofn wedi'i osod yng nghanol y siambr gwactod, gellir defnyddio'r deunydd targed Ti a Zr, nid yn unig i gynnal manteision cyfradd daduniad aml-arc uchel, cyfradd dyddodiad, ond hefyd yn gallu lleihau'n effeithiol "diferion" yn gall y broses o ddyddodiad targed aml-arc awyren fach, adneuo a pharatoi mandylledd isel o ffilmiau metel, ffilmiau cyfansawdd.Os defnyddir Al a Si fel y deunyddiau targed ar gyfer y targedau magnetron deublyg planar sydd wedi'u gosod ar yr ymylon, gellir adneuo a pharatoi ffilmiau metel-ceramig Al203 neu Si0.Yn ogystal, gellir gosod awyrennau bach lluosog o ffynhonnell anweddiad aml-arc ar yr ymylon, a gall ei ddeunydd targed fod yn Cr neu Ni, a gellir adneuo a pharatoi ffilmiau metel a ffilmiau cyfansawdd amlhaenog.Felly, mae'r dechnoleg cotio cyfansawdd hon yn dechnoleg cotio cyfansawdd gyda chymwysiadau lluosog.
Amser postio: Nov-08-2022