Магнетрон сиптерү һәм катодлы күп дугалы ион каплауның композит каплау җиһазлары аерым һәм бер үк вакытта эшли ала; саф металл пленка, металл кушылма пленка яки композит пленка урнаштырып әзерләнергә мөмкин; бер катламлы пленка һәм күп катламлы композит пленка була ала.
Аның өстенлекләре түбәндәгечә:
Ул төрле ион каплауларының өстенлекләрен берләштереп һәм төрле куллану өлкәләре өчен юка пленка әзерләүне һәм урнаштыруны исәпкә алып кына калмый, ә бер үк вакуум каплау камерасында бер үк вакытта күп катламлы монолит пленкаларны яки күп катламлы композит пленкаларны урнаштыру һәм әзерләү мөмкинлеген дә бирә.
Чүпләнгән пленка катламнарын куллану киң кулланыла, аның технологияләре төрле формаларда, типик формалары түбәндәгечә:
(1) Тигез булмаган магнетрон сиптерү һәм катод ион каплау технологиясенең кушылмасы.
Аның җайланмасы түбәндәгечә күрсәтелгән. Бу - багана магнетронлы максат һәм яссы катодлы дугалы ион каплавыннан торган катнаш каплау җиһазы, ул корал каплавы катнаш пленка һәм декоратив пленка каплавы өчен яраклы. Корал каплавы өчен, башта катодлы дугалы ион каплавы төп катлам каплавы өчен кулланыла, аннары багана магнетронлы максат югары төгәллекле эшкәртү коралы өслеге пленкасы алу өчен нитрид һәм башка пленка катламнарын урнаштыру өчен кулланыла.
Декоратив каплау өчен, TiN һәм ZrN декоратив пленкаларын башта катод дугасы белән капларга, аннары магнетрон максатлары ярдәмендә металл белән легирларга мөмкин, һәм легирлау эффекты бик яхшы.
(2) Игезәк яссылыклы магнетрон һәм колонкалы катодлы дугалы ион каплау техникасы кушылмасы. Җайланма түбәндәгечә күрсәтелгән. Ул алдынгы игезәк максат технологиясен куллана, ике янәшә урнашкан игезәк максат уртача ешлыклы электр белән тәэмин итүгә тоташтырылганда, ул максатның даими ток сиптерүе, ут һәм башка кимчелекләрдән агулануын гына түгел, ә Al203, SiO2 оксид сыйфатлы пленкасын урнаштыра ала, шуның белән капланган өлешләрнең оксидлашуга каршы торучанлыгы арта һәм яхшыра. Вакуум камерасының үзәгенә урнаштырылган баганасыман күп дугалы максат, максат материалы буларак Ti һәм Zr кулланылырга мөмкин, югары күп дугалы диссоциация тизлеге, утыру тизлеге өстенлекләрен саклап калу өчен генә түгел, ә кечкенә яссылыклы күп дугалы максат урнаштыру процессында "тамчыларны" нәтиҗәле рәвештә киметә ала, түбән мәсамәле металл пленкаларны урнаштыра һәм әзерли ала, кушылма пленкалар. Әгәр Al һәм Si перифериягә урнаштырылган игезәк яссылыклы магнетрон максатлары өчен максат материаллары буларак кулланылса, Al203 яки Si0 металл-керамик пленкаларын урнаштыра һәм әзерли ала. Моннан тыш, перифериягә күп дугалы парга әйләндерү чыганагының берничә кечкенә яссылыгы урнаштырылырга мөмкин, һәм аның максатлы материалы Cr яки Ni булырга мөмкин, ә металл пленкалар һәм күп катламлы композит пленкалар урнаштырылырга һәм әзерләнергә мөмкин. Шуңа күрә, бу композит каплау технологиясе - күп кулланылышлы композит каплау технологиясе.
Бастырып чыгару вакыты: 2022 елның 8 ноябре