ماگنىترون پۈركۈش ۋە كاتود كۆپ ئوقلۇق ئىئون قاپلاش بىرىكمە تېخنىكىسى

ماگنىترون پۈركۈش ۋە كاتود كۆپ ئوقلۇق ئىئون قاپلاش قاتارلىق بىرىكمە قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى ئايرىم ۋە بىرلا ۋاقىتتا ئىشلىيەلەيدۇ؛ ساپ مېتال پىلاستىنكا، مېتال بىرىكمە پىلاستىنكا ياكى بىرىكمە پىلاستىنكا قۇيۇپ تەييارلىيالايدۇ؛ بىر قەۋەت پىلاستىنكا ۋە كۆپ قەۋەتلىك بىرىكمە پىلاستىنكا بولۇشى مۇمكىن.

ئۇنىڭ ئەۋزەللىكلىرى تۆۋەندىكىچە:
ئۇ پەقەت ھەر خىل ئىئون قاپلىمىلىرىنىڭ ئەۋزەللىكلىرىنى بىرلەشتۈرۈپلا قالماي، ھەر خىل قوللىنىش ساھەلىرى ئۈچۈن نېپىز پەردە تەييارلاش ۋە قويۇشنى ئويلىشىپلا قالماي، يەنە بىرلا ۋاقىتتا ئوخشاش ۋاكۇئۇم قاپلاش كامېراسىغا كۆپ قەۋەتلىك مونولىت پەردە ياكى كۆپ قەۋەتلىك بىرىكمە پەردىلەرنى قويۇش ۋە قويۇشقا يول قويىدۇ.
چۆكمە پىلاستىنكا قەۋىتىنىڭ قوللىنىلىشى كەڭ دائىرىدە قوللىنىلىدۇ، ئۇنىڭ تېخنىكىلىرى ھەر خىل شەكىللەردە بولۇپ، تىپىكلىرى تۆۋەندىكىچە:
(1) تەڭپۇڭسىز ماگنىترون پۈركۈش ۋە كاتود ئىئون قاپلاش تېخنىكىسىنىڭ بىرىكمىسى.
ئۇنىڭ قۇرۇلمىسى تۆۋەندىكىدەك كۆرسىتىلدى. ئۇ تۈۋرۈكلۈك ماگنىترون نىشان ۋە تەكشى كاتود قوس ئىئون قاپلىمىسىدىن تەركىب تاپقان بىرىكمە قاپلاش ئۈسكۈنىسى بولۇپ، قورال قاپلاش بىرىكمە پىلاستىنكىسى ۋە بېزەكچىلىك پىلاستىنكىسى قاپلىمىسىنىڭ ھەر ئىككىسىگە ماس كېلىدۇ. قورال قاپلىمىسىدا، ئالدى بىلەن كاتود قوس ئىئون قاپلىمى ئاساسىي قەۋەت قاپلىمىسىغا ئىشلىتىلىدۇ، ئاندىن تۈۋرۈكلۈك ماگنىترون نىشان نىترىد ۋە باشقا پىلاستىنكا قەۋەتلىرىنى قاپلاپ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى بىر تەرەپ قىلىش قورالى يۈزى پىلاستىنكىسى ھاسىل قىلىنىدۇ.
بېزەكچىلىك قاپلاش ئۈچۈن، TiN ۋە ZrN بېزەكچىلىك پىلاستىنكىلىرىنى ئالدى بىلەن كاتود قوس قاپلاش ئارقىلىق قاپلىغىلى، ئاندىن ماگنىترون نىشان ئارقىلىق مېتال بىلەن ئارىلاشتۇرغىلى بولىدۇ، بۇنىڭ بىلەن ئارىلاشتۇرۇش ئۈنۈمى ناھايىتى ياخشى بولىدۇ.

(2) قوش تۈزلەڭلىك ماگنىترون ۋە تۈۋرۈك كاتود قوس ئىئون قاپلاش تېخنىكىسىنىڭ بىرىكمىسى. بۇ ئۈسكۈنە تۆۋەندىكىدەك كۆرسىتىلدى. ئۇ ئىلغار قوش نىشان تېخنىكىسىنى قوللىنىدۇ، ئىككى يانمۇ-يان قوش نىشان ئوتتۇرا چاستوتا توك مەنبەسىگە ئۇلانغاندا، نىشاننىڭ DC چېچىلىشى، ئوت ئاپىتى ۋە باشقا كەمچىلىكلىرىنى يېڭىپلا قالماي، يەنە Al203، SiO2 ئوكسىد سۈپەتلىك پەردىسىنى قويالايدۇ، شۇڭا قاپلانغان قىسىملارنىڭ ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش كۈچى ئاشىدۇ ۋە ياخشىلىنىدۇ. ۋاكۇئۇم كامېراسىنىڭ مەركىزىگە تۈۋرۈك شەكىللىك كۆپ قوس شەكىللىك نىشان ئورنىتىلغان بولۇپ، نىشان ماتېرىيالى Ti ۋە Zr نى ئىشلەتكىلى بولىدۇ، بۇ پەقەت يۇقىرى كۆپ قوس شەكىللىك ئايرىلىش سۈرئىتى، چۆكمە سۈرئىتى قاتارلىق ئەۋزەللىكلەرنى ساقلاپلا قالماي، يەنە كىچىك تۈزلەڭلىك كۆپ قوس شەكىللىك نىشاننى چۆكمە قىلىش جەريانىدا «تامچىلار» نى ئۈنۈملۈك ئازايتالايدۇ، تۆۋەن تۆشۈكلۈك مېتال پەردىلەرنى چۆكتۈرەلەيدۇ ۋە تەييارلىيالايدۇ، بىرىكمە پەردىلەر. ئەگەر Al ۋە Si چەتكە ئورنىتىلغان قوش تۈزلەڭلىك ماگنىترون نىشانلىرى ئۈچۈن نىشان ماتېرىيالى سۈپىتىدە ئىشلىتىلسە، Al203 ياكى Si0 مېتال-كېرامىك پەردىلىرىنى چۆكتۈرەلەيدۇ ۋە تەييارلىيالايدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، كۆپ ئوقلۇق پارغا ئايلىنىش مەنبەسىنىڭ كۆپ كىچىك تۈزلەڭلىكلىرىنى ئەتراپىغا ئورنىتىشقا بولىدۇ، ئۇنىڭ نىشان ماتېرىيالى Cr ياكى Ni بولۇشى مۇمكىن، ھەمدە مېتال پىلاستىنكىلار ۋە كۆپ قەۋەتلىك بىرىكمە پىلاستىنكىلارنى قويۇپ تەييارلىغىلى بولىدۇ. شۇڭا، بۇ بىرىكمە قاپلاش تېخنىكىسى كۆپ خىل قوللىنىشچانلىققا ئىگە بىرىكمە قاپلاش تېخنىكىسى.