Kompozitné poťahovacie zariadenia magnetrónového naprašovania a katódového viacoblúkového iónového povlaku môžu pracovať oddelene a súčasne;môže byť nanesený a pripravený čistý kovový film, film z kovových zlúčenín alebo kompozitný film;Môže to byť jedna vrstva filmu a viacvrstvový kompozitný film.
Jeho výhody sú nasledovné:
Nielenže kombinuje výhody rôznych iónových povlakov a zohľadňuje prípravu a nanášanie tenkého filmu pre rôzne oblasti použitia, ale umožňuje aj nanášanie a prípravu viacvrstvových monolitických filmov alebo viacvrstvových kompozitných filmov v rovnakom vákuu. poťahovacej komory naraz.
Aplikácie nanesených filmových vrstiev sú široko používané, ich technológie sú v rôznych formách, typické sú nasledovné:
(1) Zlúčenina technológie nerovnovážneho magnetrónového naprašovania a katódového iónového pokovovania.
Jeho zariadenie je zobrazené nasledovne.Ide o zložené poťahovacie zariadenie stĺpcového magnetrónového terča a planárneho katódového oblúkového iónového povlaku, ktoré je vhodné na poťahovanie zloženým filmom nástrojov aj na poťahovanie dekoratívnym filmom.Pri povlakovaní nástrojov sa povlak s katódovým oblúkovým iónom používa najprv na povlak základnej vrstvy a potom sa terč stĺpcového magnetrónu používa na nanášanie nitridových a iných filmových vrstiev, aby sa získal vysoko presný povrchový film nástroja na spracovanie.
Na dekoratívne poťahovanie je možné dekoratívne filmy TiN a ZrN naniesť najskôr katódovým oblúkovým nanášaním a potom dotovať kovom pomocou magnetrónových terčov a dopingový efekt je veľmi dobrý.
(2) Zlúčenina dvojplošných magnetrónových a stĺpcových katódových oblúkových techník poťahovania iónov.Zariadenie je zobrazené nasledovne.Používa sa pokročilá technológia dvojitého terča, kedy sú dva vedľa seba umiestnené dvojité terče spojené so strednofrekvenčným napájaním, nielenže prekonáva otravu terča jednosmerným rozprašovaním, ohňom a inými nevýhodami;a môže ukladať Al203, kvalitný film oxidu Si02, takže odolnosť proti oxidácii potiahnutých častí sa zvýšila a zlepšila.Stĺpcový viacoblúkový terč inštalovaný v strede vákuovej komory, cieľový materiál možno použiť Ti a Zr, a to nielen na udržanie výhod vysokej rýchlosti viacoblúkovej disociácie, rýchlosti depozície, ale tiež môže účinne znížiť „kvapôčky“ v proces depozície malých rovinných viacoblúkových terčov, môže ukladať a pripraviť kovové filmy s nízkou pórovitosťou, zložené filmy.Ak sa Al a Si použijú ako terčové materiály pre dvojité planárne magnetrónové terče inštalované na periférii, môžu sa nanášať a pripravovať kovokeramické filmy Al203 alebo Si0.Okrem toho môže byť na periférii inštalovaných niekoľko malých rovin viacoblúkového zdroja odparovania a jeho cieľovým materiálom môže byť Cr alebo Ni a môžu sa nanášať a pripravovať kovové filmy a viacvrstvové kompozitné filmy.Preto je táto technológia kompozitného náteru technológiou kompozitného náteru s viacerými aplikáciami.
Čas uverejnenia: 8. novembra 2022