Komposittbeleggsutstyr av magnetronforstøvning og katodisk multi-bue-ionbelegg kan fungere separat og samtidig;kan avsettes og fremstilles ren metallfilm, metallsammensatt film eller komposittfilm;kan være et enkelt lag film og en flerlags komposittfilm.
Dens fordeler som følger:
Den kombinerer ikke bare fordelene med forskjellige ionebelegg og tar hensyn til fremstilling og avsetning av tynn film for forskjellige bruksområder, men tillater også avsetning og fremstilling av flerlags monolittiske filmer eller flerlags komposittfilmer i samme vakuum belegningskammer på en gang.
Anvendelsene av avsatte filmlag er mye brukt, teknologiene er i en rekke former, de typiske som følger:
(1) Sammensetningen av ikke-likevektsmagnetronsputtering og katodisk ionebeleggsteknologi.
Enheten vises som følger.Det er et sammensatt beleggsutstyr av søyleformet magnetronmål og plan katodisk lysbue-ionbelegg, som er egnet for både verktøybeleggingssammensatt film og dekorativ filmbelegg.For verktøybelegg brukes det katodiske lysbue-ionbelegget først for basislagbelegget, og deretter brukes kolonnemagnetronmålet for avsetning av nitrid og andre filmlag for å oppnå en overflatefilm med høy presisjonsbehandlingsverktøy.
For dekorativt belegg kan TiN og ZrN dekorative filmer avsettes med katodisk lysbuebelegg først, og deretter dopes med metall ved hjelp av magnetronmål, og dopingeffekten er veldig god.
(2) Sammensetningen av tvillingplans magnetron- og kolonnekatode-bueionbeleggingsteknikker.Enheten vises som følger.Den brukes den avanserte tvillingmålsteknologien, når to side-ved-side tvillingmål koblet til mellomfrekvent strømforsyning, overvinner den ikke bare målforgiftningen av DC-sputtering, brann og andre ulemper;og kan avsette Al203, SiO2-oksidkvalitetsfilm, slik at oksidasjonsmotstanden til de belagte delene har økt og forbedret.Søyleformet flerbuemål installert i midten av vakuumkammeret, målmaterialet kan brukes Ti og Zr, ikke bare for å opprettholde fordelene med høy multi-bue dissosiasjonshastighet, avsetningshastighet, men kan også effektivt redusere "dråper" i prosessen med små plan multi-arc mål avsetning, kan deponere og forberede en lav porøsitet av metall filmer, sammensatte filmer.Hvis Al og Si brukes som målmaterialer for de to plane magnetronmålene installert i periferien, kan Al203 eller Si0 metallkeramiske filmer avsettes og klargjøres.I tillegg kan flere små fly med multi-bue fordampningskilde installeres i periferien, og målmaterialet kan være Cr eller Ni, og metallfilmer og flerlags komposittfilmer kan avsettes og klargjøres.Derfor er denne komposittbeleggsteknologien en komposittbeleggsteknologi med flere bruksområder.
Innleggstid: Nov-08-2022