Магнетрон цацах, катодын олон нуман ион бүрэх нийлмэл бүрэх төхөөрөмж нь тус тусад нь болон нэгэн зэрэг ажиллах боломжтой;цэвэр металл хальс, металл нийлмэл хальс эсвэл нийлмэл хальсыг буулгаж, бэлтгэж болно;нэг давхаргатай хальс, олон давхаргат нийлмэл хальс байж болно.
Үүний давуу талууд нь дараах байдалтай байна.
Энэ нь төрөл бүрийн ионы бүрээсний давуу талыг нэгтгэж, янз бүрийн хэрэглээний талбарт нимгэн хальс бэлтгэх, тунадасжуулах ажлыг харгалзан үзээд зогсохгүй олон давхаргат цул хальс эсвэл олон давхаргат нийлмэл хальсыг ижил вакуумд буулгах, бэлтгэх боломжийг олгодог. нэг дор бүрэх тасалгаа.
Хаалттай хальсан давхаргын хэрэглээнд түүний технологи нь янз бүрийн хэлбэрээр өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд ердийнх нь дараах байдалтай байна.
(1) Тэнцвэргүй магнетрон цацах, катодын ион бүрэх технологийн нэгдэл.
Түүний төхөөрөмжийг дараах байдлаар харуулав.Энэ нь багана хэлбэрийн магнетрон ба хавтгай катод нуман ионы бүрээс бүхий нийлмэл бүрэх төхөөрөмж бөгөөд багажны бүрэх нийлмэл хальс болон гоёл чимэглэлийн хальсан бүрээсэнд тохиромжтой.Багажны өнгөлгөөний хувьд эхлээд катод нуман ионы бүрээсийг үндсэн давхаргын бүрээсэнд, дараа нь баганын магнетрон зорилтот хэсгийг нитрид болон бусад хальсан давхаргад буулгахад ашигладаг бөгөөд өндөр нарийвчлалтай боловсруулах хэрэгслийн гадаргуугийн хальсыг олж авдаг.
Гоёл чимэглэлийн өнгөлгөөний хувьд TiN, ZrN гоёл чимэглэлийн хальсыг эхлээд катодын нуман бүрээсээр буулгаж, дараа нь магнетрон зорилтуудыг ашиглан металлаар хольж, допингийн нөлөө маш сайн байдаг.
(2) Хос хавтгай магнетрон ба баганын катодын нумын ион бүрэх техникүүдийн нэгдэл.Төхөөрөмжийг дараах байдлаар харуулав.Энэ нь дэвшилтэт ихэр зорилтот технологийг ашигладаг бөгөөд хоёр зэрэгцэн орших ихэр зорилтот дунд давтамжийн цахилгаан тэжээлд холбогдсон үед энэ нь зөвхөн тогтмол гүйдлийн шүрших, гал түймэр болон бусад сул талуудын зорилтот хордлогыг даван туулахад тусалдаг;мөн Al203, SiO2 ислийн чанарын хальсыг хуримтлуулах боломжтой бөгөөд ингэснээр бүрсэн хэсгүүдийн исэлдэлтийн эсэргүүцэл нэмэгдэж, сайжирсан.Вакуум камерын төвд суурилуулсан баганатай олон нуман зорилтот материал нь Ti ба Zr-ийг ашиглах боломжтой бөгөөд энэ нь олон нумын диссоциацийн өндөр хурд, хуримтлалын хурдны давуу талыг хадгалахаас гадна "дусал" -ыг үр дүнтэй бууруулах боломжтой. жижиг хавтгай олон нуман зорилтот хуримтлуулах үйл явц, металл хальс, нийлмэл хальс бага сүвэрхэг тунадас болон бэлтгэх боломжтой.Хэрэв захад суурилуулсан хос хавтгай магнетрон зорилтот материал болгон Al, Si-г ашиглавал Al203 эсвэл Si0 металл керамик хальсыг буулгаж, бэлтгэж болно.Түүнчлэн захын хэсэгт олон нуман ууршилтын эх үүсвэрийн олон жижиг онгоц суурилуулж, түүний зорилтот материал нь Cr эсвэл Ni байж болно, металл хальс, олон давхаргат нийлмэл хальсыг буулгаж, бэлтгэж болно.Тиймээс энэхүү нийлмэл бүрэх технологи нь олон төрлийн хэрэглээтэй нийлмэл бүрэх технологи юм.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 11-р сарын 08-ны өдөр