Магнетрон цацалт болон катодын олон нуман ионы бүрхүүлийн нийлмэл бүрхүүлийн төхөөрөмж нь тусдаа болон нэгэн зэрэг ажиллах боломжтой; цэвэр металл хальс, металл нийлмэл хальс эсвэл нийлмэл хальсыг тунадаж бэлтгэж болно; нэг давхар хальс болон олон давхар нийлмэл хальс байж болно.
Үүний давуу талууд нь дараах байдалтай байна:
Энэ нь янз бүрийн ионы бүрхүүлийн давуу талыг хослуулан, янз бүрийн хэрэглээний салбарт зориулсан нимгэн хальс бэлтгэх, хуримтлуулах ажлыг харгалзан үзээд зогсохгүй олон давхаргат цул хальс эсвэл олон давхаргат нийлмэл хальсыг нэг вакуум бүрхүүлийн камерт нэгэн зэрэг хуримтлуулах, бэлтгэх боломжийг олгодог.
Хадгалагдсан хальсан давхаргын хэрэглээ өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд түүний технологиуд нь янз бүрийн хэлбэртэй байдаг бөгөөд ердийн хэлбэрүүд нь дараах байдалтай байна.
(1) Тэнцвэргүй магнетрон цацалт ба катодын ионы бүрэх технологийн нэгдэл.
Үүний төхөөрөмжийг дараах байдлаар харуулав. Энэ нь багана хэлбэрийн магнетрон бай болон хавтгай катодын нуман ионы бүрхүүлтэй нийлмэл бүрхүүлийн төхөөрөмж бөгөөд багажны бүрхүүлийн нийлмэл хальс болон гоёл чимэглэлийн хальсан бүрхүүлд хоёуланд нь тохиромжтой. Багажны бүрхүүлийн хувьд эхлээд катодын нуман ионы бүрхүүлийг суурь давхаргын бүрхүүлд, дараа нь багана хэлбэрийн магнетрон байг нитрид болон бусад хальсан давхаргыг тунадасжуулж өндөр нарийвчлалтай боловсруулах багажны гадаргуугийн хальс гарган авна.
Чимэглэлийн бүрээсний хувьд TiN болон ZrN чимэглэлийн хальсыг эхлээд катодын нуман бүрхүүлээр бүрж, дараа нь магнетрон бай ашиглан металлаар хольж болох бөгөөд холих нөлөө маш сайн байдаг.
(2) Хос хавтгай магнетрон ба баганын катодын нуман ионы бүрэх техникүүдийн нэгдэл. Төхөөрөмжийг дараах байдлаар харуулав. Энэ нь дэвшилтэт хос байны технологийг ашигладаг бөгөөд хоёр зэрэгцэн орших хос байг дунд давтамжийн цахилгаан хангамжид холбоход зөвхөн DC цацалт, гал болон бусад сул талуудын байны хордлогыг даван туулахаас гадна Al203, SiO2 исэлдэлтийн чанартай хальсыг хуримтлуулж, бүрсэн хэсгүүдийн исэлдэлтийн эсэргүүцлийг нэмэгдүүлж, сайжруулдаг. Вакуум камерын төвд багана хэлбэртэй олон нуман байг суурилуулсан тул байны материалыг Ti болон Zr ашиглан олон нуман диссоциацийн өндөр хурд, тунадасны хурд зэрэг давуу талыг хадгалахаас гадна жижиг хавтгай олон нуман байг тунадасны процесст "дусал"-ыг үр дүнтэй бууруулж, бага сүвэрхэг металл хальс, нийлмэл хальсыг хуримтлуулж, бэлтгэж болно. Хэрэв захын хэсэгт суурилуулсан хос хавтгай магнетрон байны байны бай болгон Al болон Si-г ашиглавал Al203 эсвэл Si0 металл-керамик хальсыг тунадасжуулж, бэлтгэж болно. Үүнээс гадна, захын хэсэгт олон нуман ууршуулах эх үүсвэрийн олон жижиг хавтгайг суурилуулж болох бөгөөд түүний зорилтот материал нь Cr эсвэл Ni байж болох бөгөөд металл хальс болон олон давхаргат нийлмэл хальсыг тундасжуулж бэлтгэж болно. Тиймээс энэхүү нийлмэл бүрхүүлийн технологи нь олон төрлийн хэрэглээтэй нийлмэл бүрхүүлийн технологи юм.
Нийтэлсэн цаг: 2022 оны 11-р сарын 08