Verbundbeschichtungsanlagen aus Magnetronsputtern und kathodischer Multibogen-Ionenbeschichtung können getrennt und gleichzeitig arbeiten;kann ein reiner Metallfilm, ein Metallverbundfilm oder ein Verbundfilm abgeschieden und hergestellt werden;kann eine Einzelschichtfolie und eine mehrschichtige Verbundfolie sein.
Seine Vorteile sind wie folgt:
Es vereint nicht nur die Vorteile verschiedener Ionenbeschichtungen und berücksichtigt die Vorbereitung und Abscheidung dünner Filme für verschiedene Anwendungsbereiche, sondern ermöglicht auch die Abscheidung und Vorbereitung mehrschichtiger monolithischer Filme oder mehrschichtiger Verbundfilme im gleichen Vakuum Beschichtungskammer auf einmal.
Die Anwendungen abgeschiedener Filmschichten sind weit verbreitet und ihre Technologien gibt es in einer Vielzahl von Formen, die typischen sind wie folgt:
(1) Die Verbindung von Nichtgleichgewichts-Magnetronsputtern und kathodischer Ionenplattierungstechnologie.
Sein Gerät wird wie folgt dargestellt.Es handelt sich um eine Verbundbeschichtungsanlage mit säulenförmigem Magnetron-Target und planarer kathodischer Lichtbogen-Ionenbeschichtung, die sowohl für die Werkzeugbeschichtung von Verbundfilmen als auch für die dekorative Filmbeschichtung geeignet ist.Bei der Werkzeugbeschichtung wird zunächst die kathodische Lichtbogenionenbeschichtung für die Grundschichtbeschichtung verwendet, und dann wird das Säulenmagnetron-Target für die Abscheidung von Nitrid- und anderen Filmschichten verwendet, um einen hochpräzisen Bearbeitungswerkzeugoberflächenfilm zu erhalten.
Für dekorative Beschichtungen können TiN- und ZrN-Dekorfilme zunächst durch kathodische Lichtbogenbeschichtung abgeschieden und dann mithilfe von Magnetron-Targets mit Metall dotiert werden. Die Dotierungswirkung ist sehr gut.
(2) Die Verbindung von Doppelebenen-Magnetron- und Säulenkathoden-Bogen-Ionenbeschichtungstechniken.Das Gerät wird wie folgt dargestellt.Es wird die fortschrittliche Twin-Target-Technologie verwendet. Wenn zwei nebeneinander liegende Twin-Targets an die Mittelfrequenz-Stromversorgung angeschlossen werden, werden nicht nur die Target-Vergiftungen durch DC-Sputtern, Feuer und andere Nachteile überwunden;und kann Al203, SiO2-Oxidqualitätsfilm abscheiden, so dass die Oxidationsbeständigkeit der beschichteten Teile erhöht und verbessert wird.In der Mitte der Vakuumkammer ist ein säulenförmiges Multibogen-Target installiert. Als Targetmaterial können Ti und Zr verwendet werden, um nicht nur die Vorteile einer hohen Multibogen-Dissoziationsrate und Abscheidungsrate aufrechtzuerhalten, sondern auch „Tröpfchen“ wirksam zu reduzieren Der Prozess der Abscheidung kleiner Ebenen mit mehreren Lichtbögen ermöglicht die Abscheidung und Herstellung von Metallfilmen und Verbundfilmen mit geringer Porosität.Wenn Al und Si als Targetmaterialien für die an der Peripherie installierten planaren Doppelmagnetrontargets verwendet werden, können Al2O3- oder Si0-Metallkeramikfilme abgeschieden und vorbereitet werden.Darüber hinaus können an der Peripherie mehrere kleine Ebenen einer Multibogen-Verdampfungsquelle installiert werden, deren Zielmaterial Cr oder Ni sein kann, und Metallfilme und mehrschichtige Verbundfilme können abgeschieden und vorbereitet werden.Daher handelt es sich bei dieser Verbundbeschichtungstechnologie um eine Verbundbeschichtungstechnologie mit mehreren Anwendungsmöglichkeiten.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 08.11.2022