Tagħmir ta 'kisi kompost ta' magnetron sputtering u kisi ta 'jone multi-ark katodiku jista' jaħdem separatament u simultanjament;jista 'jiġi depożitat u ppreparat film tal-metall pur, film kompost tal-metall jew film kompost;jista 'jkun saff wieħed ta' film u film kompost b'ħafna saffi.
Il-vantaġġi tiegħu kif ġej:
Mhux biss tgħaqqad il-vantaġġi ta 'diversi kisjiet joniċi u tqis il-preparazzjoni u d-depożizzjoni ta' film irqiq għal diversi oqsma ta 'applikazzjoni, iżda tippermetti wkoll id-depożizzjoni u l-preparazzjoni ta' films monolitiċi b'ħafna saffi jew films komposti b'ħafna saffi fl-istess vakwu kamra tal-kisi f'ħin wieħed.
L-applikazzjonijiet ta 'saffi ta' film depożitati jintużaw ħafna. It-teknoloġiji tagħha huma f'varjetà ta 'forom, dawk tipiċi kif ġej:
(1) Il-kompost ta 'sputtering ta' magnetron mhux ta 'ekwilibriju u teknoloġija tal-kisi tal-jone katodiku.
L-apparat tiegħu huwa muri kif ġej.Huwa tagħmir ta 'kisi kompost ta' mira tal-magnetron columnar u kisi tal-jone tal-ark katodiku planari, li huwa adattat kemm għall-film kompost tal-kisi tal-għodda kif ukoll għall-kisi tal-film dekorattiv.Għall-kisi tal-għodda, il-kisi tal-jone tal-ark katodiku jintuża l-ewwel għall-kisi tas-saff tal-bażi, u mbagħad il-mira tal-magnetron tal-kolonna tintuża għad-depożizzjoni ta 'nitrur u saffi oħra tal-film biex tinkiseb film tal-wiċċ tal-għodda tal-ipproċessar ta' preċiżjoni għolja.
Għal kisi dekorattiv, films dekorattivi TiN u ZrN jistgħu jiġu depożitati b'kisja ta 'ark katodiku l-ewwel, u mbagħad doped bil-metall bl-użu ta' miri magnetron, u l-effett tad-doping huwa tajjeb ħafna.
(2) Il-kompost tat-tekniki tal-kisi tal-jone tal-ark tal-katodu tal-kolonna tal-magnetron pjan doppju.L-apparat huwa muri kif ġej.Jintuża t-teknoloġija avvanzata ta 'mira tewmin, meta żewġ miri ġemellati ġenb ma' ġenb marbuta mal-provvista ta 'enerġija ta' frekwenza medja, mhux biss tegħleb l-avvelenament fil-mira ta 'DC sputtering, nar u żvantaġġi oħra;u jista 'jiddepożita Al203, film ta' kwalità ta 'ossidu SiO2, sabiex ir-reżistenza għall-ossidazzjoni tal-partijiet miksija żdiedet u tjiebet.Mira multi-ark kolonni installata fiċ-ċentru tal-kamra tal-vakwu, il-materjal fil-mira jista 'jintuża Ti u Zr, mhux biss biex iżomm il-vantaġġi ta' rata għolja ta 'dissoċjazzjoni multi-ark, rata ta' depożizzjoni, iżda wkoll tista 'tnaqqas b'mod effettiv "qtar" f' il-proċess ta 'depożizzjoni ta' mira multi-ark ta 'pjan żgħir, jista' jiddepożita u jipprepara porożità baxxa ta 'films tal-metall, films komposti.Jekk Al u Si jintużaw bħala l-materjali fil-mira għall-miri tal-magnetron planar tewmin installati fil-periferija, films taċ-ċeramika tal-metall Al203 jew Si0 jistgħu jiġu depożitati u ppreparati.Barra minn hekk, pjani żgħar multipli ta 'sors ta' evaporazzjoni b'ħafna ark jistgħu jiġu installati fil-periferija, u l-materjal fil-mira tiegħu jista 'jkun Cr jew Ni, u films tal-metall u films komposti b'ħafna saffi jistgħu jiġu depożitati u ppreparati.Għalhekk, din it-teknoloġija tal-kisi kompost hija teknoloġija tal-kisi kompost b'applikazzjonijiet multipli.
Ħin tal-post: Nov-08-2022