मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग आणि कॅथोडिक मल्टी-आर्क आयन कोटिंगची संयुक्त कोटिंग उपकरणे स्वतंत्रपणे आणि एकाच वेळी काम करू शकतात; शुद्ध धातूचा थर, धातू संयुगाचा थर किंवा संयुक्त थर जमा करून तयार केला जाऊ शकतो; तो एक-स्तरीय थर आणि बहु-स्तरीय संयुक्त थर असू शकतो.
त्याचे फायदे खालीलप्रमाणे आहेत:
हे केवळ विविध आयन कोटिंग्सचे फायदे एकत्र करून विविध उपयोजन क्षेत्रांसाठी पातळ फिल्मची तयारी आणि निक्षेपण विचारात घेत नाही, तर एकाच व्हॅक्यूम कोटिंग चेंबरमध्ये एकाच वेळी बहु-स्तरीय मोनोलिथिक फिल्म्स किंवा बहु-स्तरीय संमिश्र फिल्म्सचे निक्षेपण आणि तयारी करण्यास देखील अनुमती देते.
निक्षेपित फिल्म थरांचे उपयोग मोठ्या प्रमाणावर केले जातात आणि त्याची तंत्रज्ञानं विविध स्वरूपांत आहेत, त्यापैकी काही ठळक प्रकार खालीलप्रमाणे आहेत:
(1) असंतुलित मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग आणि कॅथोडिक आयन प्लेटिंग तंत्रज्ञानाचे मिश्रण.
त्याचे उपकरण खालीलप्रमाणे दाखवले आहे. हे स्तंभाकार मॅग्नेट्रॉन टार्गेट आणि सपाट कॅथोडिक आर्क आयन कोटिंगचे एक संयुक्त कोटिंग उपकरण आहे, जे टूल कोटिंग संयुक्त फिल्म आणि सजावटीच्या फिल्म कोटिंग या दोन्हीसाठी योग्य आहे. टूल कोटिंगसाठी, प्रथम बेस लेयर कोटिंगकरिता कॅथोडिक आर्क आयन कोटिंगचा वापर केला जातो, आणि नंतर उच्च-सुस्पष्टता प्रक्रिया केलेल्या टूलच्या पृष्ठभागावरील फिल्म मिळवण्यासाठी नायट्राइड आणि इतर फिल्म लेयर्सचे निक्षेपण करण्याकरिता स्तंभाकार मॅग्नेट्रॉन टार्गेटचा वापर केला जातो.
सजावटीच्या कोटिंगसाठी, प्रथम कॅथोडिक आर्क कोटिंगद्वारे TiN आणि ZrN सजावटीचे थर जमा केले जाऊ शकतात, आणि नंतर मॅग्नेट्रॉन टार्गेट वापरून धातूचे डोपिंग केले जाते, आणि डोपिंगचा परिणाम खूप चांगला असतो.
(२) ट्विन प्लेन मॅग्नेट्रॉन आणि कॉलम कॅथोड आर्क आयन कोटिंग तंत्रांचे मिश्रण. हे उपकरण खालीलप्रमाणे दाखवले आहे. यात प्रगत ट्विन टार्गेट तंत्रज्ञानाचा वापर केला जातो, जेव्हा दोन शेजारी-शेजारी असलेले ट्विन टार्गेट मध्यम फ्रिक्वेन्सीच्या वीज पुरवठ्याला जोडले जातात, तेव्हा ते केवळ डीसी स्पटरिंगमधील टार्गेट पॉइझनिंग, आग आणि इतर उणिवांवर मात करत नाही; तर Al2O3, SiO2 ऑक्साईडची दर्जेदार फिल्म जमा करू शकते, ज्यामुळे लेपित भागांचा ऑक्सिडेशन प्रतिरोध वाढतो आणि सुधारतो. व्हॅक्यूम चेंबरच्या मध्यभागी स्थापित केलेल्या स्तंभाकार मल्टी-आर्क टार्गेटसाठी, टार्गेट मटेरियल म्हणून Ti आणि Zr वापरले जाऊ शकते, ज्यामुळे केवळ उच्च मल्टी-आर्क डिसोसिएशन दर आणि डिपॉझिशन दराचे फायदे टिकून राहत नाहीत, तर लहान प्लेन मल्टी-आर्क टार्गेट डिपॉझिशनच्या प्रक्रियेतील "थेंब" देखील प्रभावीपणे कमी करता येतात, आणि कमी सच्छिद्रतेच्या मेटल फिल्म्स व कंपाऊंड फिल्म्स जमा करून तयार करता येतात. जर परिघावर स्थापित केलेल्या ट्विन प्लेनर मॅग्नेट्रॉन टार्गेटसाठी टार्गेट मटेरियल म्हणून Al आणि Si वापरले, तर Al2O3 किंवा SiO मेटल-सिरेमिक फिल्म्स जमा करून तयार करता येतात. याव्यतिरिक्त, परिघावर मल्टी-आर्क इव्हॅपोरेशन सोर्सची अनेक लहान विमाने स्थापित केली जाऊ शकतात, आणि त्याचे लक्ष्य साहित्य Cr किंवा Ni असू शकते, आणि धातूंचे थर व बहुस्तरीय संमिश्र थर जमा करून तयार केले जाऊ शकतात. त्यामुळे, हे संमिश्र लेपन तंत्रज्ञान हे अनेक उपयोग असलेले एक संमिश्र लेपन तंत्रज्ञान आहे.
पोस्ट करण्याची वेळ: नोव्हेंबर-०८-२०२२