Urządzenia do nakładania powłok kompozytowych metodą rozpylania magnetronowego i katodowego nakładania powłok jonowych wielołukowych mogą pracować niezależnie i równocześnie; mogą być stosowane do osadzania i przygotowywania czystych warstw metalu, warstw związków metali lub warstw kompozytowych; mogą być to pojedyncza warstwa folii i wielowarstwowa warstwa kompozytowa.
Oto jego zalety:
Łączy ona nie tylko zalety różnych powłok jonowych i uwzględnia przygotowanie i osadzanie cienkich warstw do różnych zastosowań, ale także umożliwia osadzanie i przygotowywanie wielowarstwowych folii monolitycznych lub wielowarstwowych folii kompozytowych w tej samej komorze do powlekania próżniowego w tym samym czasie.
Zastosowania osadzonych warstw filmowych są szeroko rozpowszechnione, a technologie te występują w różnych formach. Oto typowe formy:
(1) Połączenie technologii rozpylania magnetronowego nierównowagowego i galwanizacji katodowej.
Urządzenie jest przedstawione poniżej. Jest to urządzenie do nakładania powłok złożonych, składające się z kolumnowej tarczy magnetronowej i płaskiej powłoki jonowej z łukiem katodowym, które nadaje się zarówno do nakładania powłok złożonych na narzędzia, jak i powłok dekoracyjnych. W przypadku nakładania powłok na narzędzia, najpierw stosuje się powłokę jonową z łukiem katodowym do powlekania warstwy bazowej, a następnie kolumnową tarczę magnetronową do osadzania azotku i innych warstw, aby uzyskać precyzyjną powłokę powierzchniową narzędzia.
W przypadku powłok dekoracyjnych, warstwy dekoracyjne TiN i ZrN można najpierw osadzać metodą katodową, a następnie domieszkować je metalem za pomocą tarcz magnetronowych. Efekt domieszkowania jest bardzo dobry.
(2) Połączenie technik powlekania jonowego z wykorzystaniem dwupłaszczyznowego magnetronu i kolumnowego łuku katodowego. Urządzenie przedstawiono poniżej. Wykorzystuje ono zaawansowaną technologię podwójnych tarcz, która, gdy dwa umieszczone obok siebie podwójne tarcze są podłączone do źródła zasilania średniej częstotliwości, nie tylko zapobiega zatruwaniu tarczy podczas rozpylania prądem stałym, pożarom i innym niedogodnościom, ale także umożliwia osadzanie warstw o jakości tlenku Al2O3 i SiO2, co zwiększa i poprawia odporność powlekanych elementów na utlenianie. Kolumnowa tarcza wielołukowa zainstalowana w centrum komory próżniowej, może być wykonana z Ti i Zr, nie tylko w celu zachowania zalet wysokiej szybkości dysocjacji wielołukowej i szybkości osadzania, ale także w celu skutecznej redukcji „kropli” w procesie osadzania małych płaszczyzn wielołukowych tarcz, co pozwala na osadzanie i przygotowywanie warstw metalicznych i złożonych o niskiej porowatości. Zastosowanie Al i Si jako materiałów tarczowych dla dwupłaszczyznowych tarcz magnetronowych zainstalowanych na obwodzie, umożliwia osadzanie i przygotowywanie warstw metalowo-ceramicznych z Al2O3 lub SiO2. Dodatkowo, na obwodzie można zainstalować wiele małych płaszczyzn wielołukowego źródła parowania, a materiałem docelowym może być Cr lub Ni, a także osadzać i przygotowywać warstwy metalowe i wielowarstwowe warstwy kompozytowe. Dlatego ta technologia powłok kompozytowych jest technologią powłok kompozytowych o wielu zastosowaniach.
Czas publikacji: 08-11-2022