Vifaa vya mipako ya mchanganyiko wa sputtering ya magnetron na mipako ya ioni ya kathodi nyingi vinaweza kufanya kazi kando na kwa wakati mmoja; vinaweza kuwekwa na kutayarishwa filamu safi ya chuma, filamu ya kiwanja cha chuma au filamu ya mchanganyiko; vinaweza kuwa safu moja ya filamu na filamu ya kiwanja cha safu nyingi.
Faida zake ni kama ifuatavyo:
Haichanganyi tu faida za mipako mbalimbali ya ioni na inazingatia utayarishaji na uwekaji wa filamu nyembamba kwa nyanja mbalimbali za matumizi, lakini pia inaruhusu uwekaji na utayarishaji wa filamu za monolithic zenye tabaka nyingi au filamu za mchanganyiko zenye tabaka nyingi katika chumba kimoja cha mipako ya utupu kwa wakati mmoja.
Matumizi ya tabaka za filamu zilizowekwa hutumika sana, teknolojia zake ziko katika aina mbalimbali, zile za kawaida kama ifuatavyo:
(1) Mchanganyiko wa teknolojia ya unyunyiziaji wa sumaku isiyo ya usawa na upako wa ioni za kathodi.
Kifaa chake kinaonyeshwa kama ifuatavyo. Ni kifaa cha mipako ya mchanganyiko cha shabaha ya magnetron ya safu na mipako ya ioni ya arc ya kathodi ya planar, ambayo inafaa kwa filamu ya mchanganyiko ya mipako ya zana na mipako ya filamu ya mapambo. Kwa mipako ya zana, mipako ya ioni ya arc ya kathodi hutumiwa kwanza kwa mipako ya safu ya msingi, na kisha shabaha ya magnetron ya safu hutumika kwa ajili ya utuaji wa nitridi na tabaka zingine za filamu ili kupata filamu ya uso wa chombo cha usindikaji yenye usahihi wa hali ya juu.
Kwa mipako ya mapambo, filamu za mapambo za TiN na ZrN zinaweza kuwekwa kwa mipako ya tao ya kathodi kwanza, na kisha kuchanganywa na chuma kwa kutumia shabaha za magnetron, na athari ya doping ni nzuri sana.
(2) Mchanganyiko wa mbinu za mipako ya ioni za arc za magnetron pacha na cathode ya safu wima. Kifaa hiki kinaonyeshwa kama ifuatavyo. Kinatumika kama teknolojia ya hali ya juu ya shabaha pacha, wakati shabaha mbili za sambamba zimeunganishwa na usambazaji wa umeme wa masafa ya kati, sio tu kwamba hushinda sumu ya shabaha ya kunyunyizia maji ya DC, moto na mapungufu mengine; na kinaweza kuweka filamu ya ubora wa oksidi ya Al203, SiO2, ili upinzani wa oksidi wa sehemu zilizofunikwa umeongezeka na kuboreshwa. Shabaha ya safu nyingi imewekwa katikati ya chumba cha utupu, nyenzo inayolengwa inaweza kutumika Ti na Zr, sio tu kudumisha faida za kiwango cha juu cha kutengana kwa safu nyingi, kiwango cha uwekaji, lakini pia inaweza kupunguza kwa ufanisi "matone" katika mchakato wa uwekaji wa shabaha ndogo za safu nyingi, inaweza kuweka na kuandaa porosity ya chini ya filamu za chuma, filamu za misombo. Ikiwa Al na Si zinatumika kama nyenzo zinazolengwa kwa shabaha za magnetron pacha zilizowekwa pembezoni, filamu za kauri za Al203 au Si0 za chuma zinaweza kuwekwa na kutayarishwa. Zaidi ya hayo, ndege nyingi ndogo za chanzo cha uvukizi wa arc nyingi zinaweza kusakinishwa pembezoni, na nyenzo inayolengwa inaweza kuwa Cr au Ni, na filamu za chuma na filamu za mchanganyiko zenye tabaka nyingi zinaweza kuwekwa na kutayarishwa. Kwa hivyo, teknolojia hii ya mipako mchanganyiko ni teknolojia ya mipako mchanganyiko yenye matumizi mengi.
Muda wa chapisho: Novemba-08-2022