Магнетрондук чачыратуу жана катоддук көп жаалуу иондук каптоодон турган композиттик каптоо жабдуулары өз-өзүнчө жана бир эле учурда иштей алат; таза металл пленкасын, металл кошулма пленкасын же композиттик пленканы чөктүрүүгө жана даярдоого болот; бир катмарлуу пленка жана көп катмарлуу композиттик пленка болушу мүмкүн.
Анын артыкчылыктары төмөнкүдөй:
Ал ар кандай иондук каптоолордун артыкчылыктарын айкалыштырып, колдонуунун ар кандай тармактары үчүн жука пленканы даярдоону жана чөктүрүүнү эске алуу менен гана чектелбестен, бир эле вакуумдук каптоо камерасында көп катмарлуу монолиттик пленкаларды же көп катмарлуу композиттик пленкаларды бир убакта чөктүрүүгө жана даярдоого мүмкүндүк берет.
Чөкмө пленка катмарларын колдонуу кеңири колдонулат, анын технологиялары ар кандай формада болот, алардын типтүүлөрү төмөнкүлөр:
(1) Тең салмактуу эмес магнетрондук чачыратуу жана катоддук иондук каптоо технологиясынын кошулмасы.
Анын түзүлүшү төмөндө көрсөтүлгөн. Бул мамычалуу магнетрондук бута жана тегиз катоддук жаа иондук каптоодон турган кошулма каптоо жабдыгы, ал аспап менен каптоо кошулма пленкасына жана декоративдик пленка каптоого ылайыктуу. Аспап менен каптоо үчүн алгач катоддук жаа иондук каптоо негизги катмарды каптоо үчүн колдонулат, андан кийин мамычалуу магнетрондук бута жогорку тактыктагы иштетүүчү аспаптын беттик пленкасын алуу үчүн нитрид жана башка пленка катмарларын чөктүрүү үчүн колдонулат.
Декоративдик каптоо үчүн TiN жана ZrN декоративдик пленкаларын алгач катоддук жаа каптоо менен, андан кийин магнетрондук буталарды колдонуу менен металл менен легирлөөгө болот, жана легирлөө эффектиси абдан жакшы.
(2) Эгиз тегиздиктеги магнетрон жана мамычалык катод жаа иондорунун кошулмасы. Түзмөк төмөндө көрсөтүлгөн. Ал өркүндөтүлгөн эгиз бута технологиясын колдонот, эки жанаша эгиз бута орто жыштыктагы электр менен камсыздоого туташтырылганда, ал бутанын туруктуу токтун чачырашынан, өрттөн жана башка кемчиликтерден уулануусун жеңип гана тим болбостон, Al203, SiO2 кычкылдануу сапатындагы пленканы жайгаштыра алат, ошентип капталган бөлүктөрүнүн кычкылданууга туруктуулугу жогорулайт жана жакшырат. Вакуумдук камеранын борборуна мамычалык көп жаалуу бута орнотулган, бута материалы Ti жана Zr колдонулушу мүмкүн, бул көп жаалуу диссоциациянын жогорку ылдамдыгынын, чөкмө ылдамдыгынын артыкчылыктарын сактоо үчүн гана эмес, ошондой эле кичинекей тегиздиктеги көп жаалуу буталарды чөктүрүү процессинде "тамчыларды" натыйжалуу азайта алат, металл пленкаларынын, кошулма пленкалардын аз тешиктүүлүгүн жайгаштыра алат жана даярдай алат. Эгерде Al жана Si периферияга орнотулган эгиз тегиздиктеги магнетрондук буталар үчүн бута материалы катары колдонулса, Al203 же Si0 металл-керамикалык пленкаларды чөктүрүүгө жана даярдоого болот. Мындан тышкары, периферияга көп жаалуу буулануу булагынын бир нече кичинекей тегиздиктерин орнотууга болот, ал эми анын максаттуу материалы Cr же Ni болушу мүмкүн, ал эми металл пленкалары жана көп катмарлуу композиттик пленкалар чөктүрүлүп, даярдалышы мүмкүн. Ошондуктан, бул композиттик каптоо технологиясы көп колдонулуучу композиттик каптоо технологиясы болуп саналат.
Жарыяланган убактысы: 2022-жылдын 8-ноябры