Kompositbeläggningsutrustning av magnetronförstoftning och katodisk multibågjonbeläggning kan arbeta separat och samtidigt;kan deponeras och prepareras ren metallfilm, metallföreningsfilm eller kompositfilm;kan vara ett enda skikt av film och en flerskikts kompositfilm.
Dess fördelar som följer:
Den kombinerar inte bara fördelarna med olika jonbeläggningar och tar hänsyn till beredning och avsättning av tunn film för olika användningsområden, utan tillåter också avsättning och beredning av flerskikts monolitiska filmer eller flerskiktiga kompositfilmer i samma vakuum beläggningskammare på en gång.
Tillämpningarna av deponerade filmskikt används i stor utsträckning, dess teknologier finns i en mängd olika former, de typiska som följer:
(1) Föreningen av icke-jämviktsmagnetronförstoftning och katodisk jonpläteringsteknik.
Dess enhet visas som följer.Det är en sammansatt beläggningsutrustning av kolumnär magnetronmål och plan katodbågjonbeläggning, som är lämplig för både verktygsbeläggning av sammansatt film och dekorativ filmbeläggning.För verktygsbeläggning används den katodiska bågjonbeläggningen först för basskiktsbeläggningen, och sedan används kolumnmagnetronmålet för avsättning av nitrid och andra filmskikt för att erhålla en ytfilm för bearbetning av verktyg med hög precision.
För dekorativ beläggning kan dekorativa TiN- och ZrN-filmer avsättas med katodisk bågbeläggning först och sedan dopas med metall med hjälp av magnetronmål, och dopningseffekten är mycket bra.
(2) Sammansättningen av tvåplansmagnetron och kolonnkatodbågjonbeläggningstekniker.Enheten visas enligt följande.Det används den avancerade tvillingmålsteknologin, när två sida vid sida tvillingmål kopplade till medelfrekvent strömförsörjning, övervinner den inte bara målförgiftningen av DC-sputtering, eld och andra nackdelar;och kan avsätta Al203, SiO2-oxidkvalitetsfilm, så att oxidationsbeständigheten hos de belagda delarna har ökat och förbättrats.Kolumnärt flerbågsmål installerat i mitten av vakuumkammaren, målmaterialet kan användas Ti och Zr, inte bara för att upprätthålla fördelarna med hög multibågsdissociationshastighet, avsättningshastighet, utan kan också effektivt minska "droppar" i processen med småplan multi-båge målavsättning, kan deponera och förbereda en låg porositet av metallfilmer, sammansatta filmer.Om Al och Si används som målmaterial för de dubbla plana magnetronmålen installerade vid periferin, kan Al203 eller Si0 metallkeramiska filmer avsättas och förberedas.Dessutom kan flera små plan av flerbågsförångningskälla installeras vid periferin, och dess målmaterial kan vara Cr eller Ni, och metallfilmer och flerskiktskompositfilmer kan deponeras och förberedas.Därför är denna kompositbeläggningsteknik en kompositbeläggningsteknik med flera tillämpningar.
Posttid: 2022-nov-08