Thiết bị phủ composite sử dụng phương pháp phún xạ magnetron và phủ ion đa cung catốt có thể hoạt động riêng biệt và đồng thời; có thể lắng đọng và chế tạo màng kim loại nguyên chất, màng hợp chất kim loại hoặc màng composite; có thể là màng đơn lớp hoặc màng composite nhiều lớp.
Ưu điểm của nó như sau:
Nó không chỉ kết hợp những ưu điểm của nhiều lớp phủ ion khác nhau và tính đến việc chuẩn bị và lắng đọng màng mỏng cho nhiều lĩnh vực ứng dụng, mà còn cho phép lắng đọng và chuẩn bị màng đơn lớp hoặc màng composite nhiều lớp trong cùng một buồng phủ chân không cùng một lúc.
Các ứng dụng của lớp màng lắng đọng được sử dụng rộng rãi với nhiều hình thức khác nhau, điển hình như sau:
(1) Hợp chất của công nghệ phun từ tính không cân bằng và mạ ion catốt.
Thiết bị này được thể hiện như sau. Đó là thiết bị phủ hỗn hợp sử dụng mục tiêu magnetron dạng cột và phương pháp phủ ion hồ quang catốt dạng phẳng, phù hợp cho cả việc phủ màng hỗn hợp lên dụng cụ và phủ màng trang trí. Đối với việc phủ dụng cụ, phương pháp phủ ion hồ quang catốt được sử dụng trước tiên để phủ lớp nền, sau đó mục tiêu magnetron dạng cột được sử dụng để lắng đọng lớp nitrit và các lớp màng khác nhằm thu được lớp màng bề mặt dụng cụ gia công có độ chính xác cao.
Đối với lớp phủ trang trí, màng trang trí TiN và ZrN có thể được lắng đọng bằng phương pháp phủ hồ quang catốt trước, sau đó được pha tạp kim loại bằng cách sử dụng bia magnetron, và hiệu quả pha tạp rất tốt.
(2) Sự kết hợp giữa kỹ thuật phủ ion hồ quang cột và nam châm phẳng kép. Thiết bị được thể hiện như sau. Nó sử dụng công nghệ mục tiêu kép tiên tiến, khi hai mục tiêu kép đặt cạnh nhau được kết nối với nguồn điện tần số trung bình, nó không chỉ khắc phục được các nhược điểm như nhiễm độc mục tiêu của quá trình phún xạ DC, cháy nổ và các nhược điểm khác; mà còn có thể lắng đọng màng oxit Al2O3, SiO2 chất lượng cao, giúp tăng cường và cải thiện khả năng chống oxy hóa của các bộ phận được phủ. Mục tiêu đa hồ quang dạng cột được lắp đặt ở trung tâm buồng chân không, vật liệu mục tiêu có thể được sử dụng là Ti và Zr, không chỉ duy trì được ưu điểm của tốc độ phân ly đa hồ quang cao, tốc độ lắng đọng, mà còn có thể giảm thiểu hiệu quả hiện tượng "giọt" trong quá trình lắng đọng mục tiêu đa hồ quang mặt phẳng nhỏ, có thể lắng đọng và chế tạo màng kim loại, màng hợp chất có độ xốp thấp. Nếu Al và Si được sử dụng làm vật liệu mục tiêu cho các mục tiêu nam châm phẳng kép được lắp đặt ở ngoại vi, thì có thể lắng đọng và chế tạo màng kim loại-gốm Al2O3 hoặc SiO2. Ngoài ra, có thể lắp đặt nhiều mặt phẳng nhỏ của nguồn bay hơi đa cung ở vùng ngoại vi, và vật liệu mục tiêu có thể là Cr hoặc Ni, và có thể lắng đọng và chế tạo màng kim loại và màng composite nhiều lớp. Do đó, công nghệ phủ composite này là một công nghệ phủ composite có nhiều ứng dụng.
Thời gian đăng bài: 08/11/2022