Os equipos de revestimento composto de magnetrón e revestimento de ións multi-arco catódico poden funcionar por separado e simultaneamente;pódese depositar e preparar película de metal puro, película composta de metal ou película composta;pode ser unha única capa de película e unha película composta multicapa.
As súas vantaxes son as seguintes:
Non só combina as vantaxes de varios revestimentos iónicos e ten en conta a preparación e deposición de película fina para varios campos de aplicación, senón que tamén permite a deposición e preparación de películas monolíticas multicapa ou películas compostas multicapa no mesmo baleiro. cámara de revestimento á vez.
As aplicacións de capas de película depositadas son amplamente utilizadas, as súas tecnoloxías teñen varias formas, as típicas son as seguintes:
(1) O composto de non equilibrio magnetrón sputtering e tecnoloxía de recubrimento de ións catódicos.
O seu dispositivo móstrase como segue.É un equipo de revestimento composto de obxectivo de magnetrón columnar e revestimento de ión de arco catódico plano, que é adecuado tanto para a película composta de revestimento de ferramentas como para o revestimento de película decorativa.Para o revestimento da ferramenta, o revestimento de ión de arco catódico utilízase primeiro para o revestimento da capa base, e despois o obxectivo da columna de magnetrón utilízase para a deposición de nitruros e outras capas de película para obter unha película superficial de ferramenta de procesamento de alta precisión.
Para o revestimento decorativo, as películas decorativas de TiN e ZrN pódense depositar primeiro mediante un revestimento de arco catódico e despois dopadas con metal usando obxectivos de magnetrón, e o efecto dopaxe é moi bo.
(2) O composto de técnicas de revestimento de iones de arco de arco de magnetrón de plano dobre e cátodo de columna.O dispositivo móstrase como segue.Utilízase a tecnoloxía avanzada de obxectivos xemelgos, cando dous obxectivos xemelgos lado a lado ligados á fonte de alimentación de frecuencia media, non só supera o envelenamento do obxectivo de pulverización de CC, lume e outros inconvenientes;e pode depositar Al203, película de calidade de óxido de SiO2, de xeito que a resistencia á oxidación das pezas revestidas aumentou e mellorou.Obxectivo multi-arco columnar instalado no centro da cámara de baleiro, o material obxectivo pódese usar Ti e Zr, non só para manter as vantaxes da alta taxa de disociación multi-arco, taxa de deposición, senón que tamén pode reducir eficazmente as "gotas" en o proceso de deposición de obxectivos multi-arco pequeno, pode depositar e preparar unha baixa porosidade de películas metálicas, películas compostas.Se se usan Al e Si como materiais obxectivo para os obxectivos de magnetrón planar xemelgos instalados na periferia, pódense depositar e preparar películas metal-cerámicas de Al203 ou Si0.Ademais, pódense instalar varios pequenos planos de fonte de evaporación multi-arco na periferia e o seu material obxectivo pode ser Cr ou Ni, e pódense depositar e preparar películas metálicas e películas compostas multicapa.Polo tanto, esta tecnoloxía de revestimento composto é unha tecnoloxía de revestimento composto con múltiples aplicacións.
Hora de publicación: 08-nov-2022