Таҷҳизоти рӯйпӯшкунии таркибии пошидани магнетронӣ ва рӯйпӯши ионҳои катодӣ дар алоҳидагӣ ва ҳамзамон кор карда метавонад;плёнкаи металлии соф, плёнкаи металлй ё плёнкаи композитиро гузоштан ва тайёр кардан мумкин аст;як қабати плёнка ва плёнкаи бисёрқабатаи композитӣ буда метавонад.
Афзалиятҳои он инҳоянд:
Он на танҳо бартариҳои рӯйпӯшҳои гуногуни иониро муттаҳид мекунад ва тайёр кардан ва гузоштани плёнкаи тунукро барои соҳаҳои гуногуни татбиқ ба назар мегирад, балки инчунин имкон медиҳад, ки дар як вакуум плёнкаҳои бисёрқабатаи монолитӣ ё плёнкаҳои бисёрқабатаи композитӣ ҷойгир ва тайёр карда шаванд. камераи пӯшиш дар як вақт.
Татбиқи қабатҳои плёнкаи гузошташуда ба таври васеъ истифода мешаванд, технологияҳои он дар шаклҳои гуногун мавҷуданд, ки маъмулан инҳоянд:
(1) Маҷмӯаи технологияи пошидани ионҳои катодӣ ва пошидани ионҳои катодӣ.
Дастгоҳи он ба таври зерин нишон дода шудааст.Ин як таҷҳизоти рӯйпӯши мураккаби ҳадафи магнетрони сутунӣ ва рӯйпӯши ионҳои камони катодӣ мебошад, ки ҳам барои рӯйпӯш кардани филми мураккаби асбоб ва ҳам рӯйпӯши плёнкаи ороишӣ мувофиқ аст.Барои рӯйпӯш кардани асбоб, қабати ионҳои катодӣ аввал барои рӯйпӯши қабати асосӣ истифода мешавад ва сипас ҳадафи магнетрони сутун барои таҳшин кардани нитрид ва дигар қабатҳои филм барои ба даст овардани филми сатҳи баланди асбоби коркард истифода мешавад.
Барои рӯйпӯш кардани ороишӣ, филмҳои ороишии TiN ва ZrN-ро аввал бо қабати катодӣ гузоштан мумкин аст ва баъд бо металл бо истифода аз ҳадафҳои магнетронӣ омехта карда мешавад ва таъсири допинг хеле хуб аст.
(2) Маҷмӯи усулҳои печонидани ионҳои дугонаи магнетронӣ ва сутуни катодӣ.Дастгоҳ ба таври зерин нишон дода шудааст.Он технологияи пешрафтаи ҳадафи дугоникро истифода мебарад, вақте ки ду ҳадафи дугоникҳои паҳлӯ ба паҳлӯ ба таъмини қувваи басомади миёна алоқаманданд, он на танҳо заҳролудшавии ҳадафи пошидани DC, оташ ва дигар камбудиҳоро бартараф мекунад;ва метавонад филми сифатии оксиди Al203, SiO2-ро гузорад, то ки муқовимати оксидшавии қисмҳои рӯйпӯшшуда зиёд ва беҳтар шавад.Ҳадафи сутуни бисёрқабата дар маркази камераи вакуумӣ насб карда шудааст, маводи мавриди ҳадаф метавонад Ti ва Zr истифода шавад, на танҳо барои нигоҳ доштани бартариҳои суръати баланди диссоциатсияи камон, суръати таҳшиншавӣ, балки инчунин метавонад ба таври муассир коҳиш додани "қатраҳо" дар раванди ҷойгиршавии ҳадафи бисёрҳавопаймои ҳавопаймои хурд, метавонад пасандоз ва тайёр кардани як porosity пасти филмҳои металлӣ, филмҳои мураккаб.Агар Al ва Si ҳамчун маводи мавриди ҳадаф барои ҳадафҳои дугоникҳои ҳамвории магнитронӣ, ки дар канори периферӣ насб карда шудаанд, истифода шаванд, филмҳои металлии сафолии Al203 ё Si0 гузоштан ва омода кардан мумкин аст.Илова бар ин, дар канори периферия якчанд ҳавопаймоҳои хурди манбаи бухоршавии чандқабатаро насб кардан мумкин аст ва маводи мавриди ҳадафи он метавонад Cr ё Ni бошад ва плёнкаҳои металлӣ ва плёнкаҳои бисёрқабати композитиро гузоштан ва омода кардан мумкин аст.Аз ин рӯ, ин технологияи пӯшиши таркибӣ як технологияи пӯшиши таркибӣ бо барномаҳои гуногун мебошад.
Вақти фиристодан: Ноябр-08-2022