Таҷҳизоти рӯйпӯшкунии композитӣ бо пошидани магнетронӣ ва рӯйпӯшкунии катодии бисёрқаторӣ метавонанд алоҳида ва ҳамзамон кор кунанд; плёнкаи металлии холис, плёнкаи пайвастаи металлӣ ё плёнкаи композитӣ метавонад гузошта ва омода карда шавад; метавонад плёнкаи якқабата ва плёнкаи композитии бисёрқабата бошад.
Афзалиятҳои он чунинанд:
Он на танҳо бартариҳои рӯйпӯшҳои гуногуни иониро муттаҳид мекунад ва омодасозӣ ва ҷойгиркунии плёнкаи тунукро барои соҳаҳои гуногуни татбиқ ба назар мегирад, балки имкон медиҳад, ки дар як вақт дар як камераи рӯйпӯшкунии вакуумӣ плёнкаҳои бисёрқабата ё плёнкаҳои композитии бисёрқабата ҷойгир карда шаванд.
Истифодаи қабатҳои плёнкаи гузошташуда ба таври васеъ истифода мешавад, ки технологияҳои он дар шаклҳои гуногун мавҷуданд, ки маъмултаринашон инҳоянд:
(1) Таркиби пошидани магнетронии ғайримувозинатӣ ва технологияи пӯшонидани ионии катодӣ.
Дастгоҳи он чунин нишон дода шудааст. Ин таҷҳизоти пӯшонидани мураккаб аз рӯйпӯши ионии камони сутунӣ ва рӯйпӯши ионии камони ҳамвори катодӣ мебошад, ки ҳам барои рӯйпӯши плёнкаи мураккаби асбобӣ ва ҳам барои рӯйпӯши плёнкаи ороишӣ мувофиқ аст. Барои рӯйпӯши асбобӣ, аввал рӯйпӯши ионии камони катодӣ барои рӯйпӯши қабати асосӣ ва сипас ҳадафи магнетронии сутунӣ барои ҷойгиркунии нитрид ва дигар қабатҳои плёнка барои ба даст овардани плёнкаи сатҳии асбоби коркарди дақиқи баланд истифода мешавад.
Барои пӯшиши ороишӣ, плёнкаҳои ороишии TiN ва ZrN-ро аввал бо пӯшиши камони катодӣ ва сипас бо истифода аз ҳадафҳои магнетронӣ бо металл легир кардан мумкин аст ва таъсири легиркунӣ хеле хуб аст.
(2) Таркиби усулҳои пӯшонидани ионии камони катоди сутунӣ ва магнетрони дуқабатаи ҳамвор ва катоди сутунӣ. Дастгоҳ чунин нишон дода шудааст. Он аз технологияи пешрафтаи дуқабатаи ҳадаф истифода мешавад, вақте ки ду ҳадафи дуқабатаи паҳлӯ ба паҳлӯ ба манбаи барқи басомади миёна пайваст карда мешаванд, он на танҳо заҳролудшавии ҳадафро аз пошидани DC, сӯхтор ва дигар камбудиҳо бартараф мекунад; ва метавонад плёнкаи оксиди сифати Al203 ва SiO2-ро ҷойгир кунад, то муқовимати оксидшавии қисмҳои пӯшонидашуда афзоиш ва беҳтар шавад. Ҳадафи бисёрқабатаи сутунӣ, ки дар маркази камераи вакуумӣ насб карда шудааст, маводи ҳадафро метавон Ti ва Zr истифода бурд, на танҳо барои нигоҳ доштани бартариҳои суръати баланди диссотсиатсияи бисёрқабатаи бисёрқабатӣ, суръати ҷойгиршавӣ, балки инчунин метавонад "қатраҳо"-ро дар раванди ҷойгиркунии ҳадафи бисёрқабатаи ҳамвори хурд самаранок кам кунад, метавонад сӯрохии пасти плёнкаҳои металлӣ ва плёнкаҳои мураккабро ҷойгир кунад ва омода кунад. Агар Al ва Si ҳамчун маводи ҳадаф барои ҳадафҳои дуқабатаи ҳамвори магнетронии дар канори атроф насбшуда истифода шаванд, плёнкаҳои металлӣ-керамикии Al203 ё Si0-ро ҷойгир кардан ва омода кардан мумкин аст. Илова бар ин, дар канори он якчанд сатҳҳои хурди манбаи бухоршавии бисёрқаторӣ насб карда мешаванд ва маводи мақсадноки он метавонад Cr ё Ni бошад ва плёнкаҳои металлӣ ва плёнкаҳои композитии бисёрқабата метавонанд гузошта ва омода карда шаванд. Аз ин рӯ, ин технологияи пӯшиши композитӣ як технологияи пӯшиши композитӣ бо истифодаҳои гуногун мебошад.
Вақти нашр: 08 ноябри соли 2022