Магнетронды тозаңдату және катодты көп доғалы ионды жабынның композиттік жабын жабдықтары бөлек және бір мезгілде жұмыс істей алады; таза металл пленкасын, металл қосылыс пленкасын немесе композиттік пленканы жағуға және дайындауға болады; бір қабатты пленка және көп қабатты композиттік пленка болуы мүмкін.
Оның артықшылықтары келесідей:
Ол әртүрлі иондық жабындардың артықшылықтарын біріктіріп қана қоймай, әртүрлі қолдану салалары үшін жұқа пленканы дайындау мен жағуды ескереді, сонымен қатар бір уақытта бір вакуумдық жабын камерасында көп қабатты монолитті пленкаларды немесе көп қабатты композиттік пленкаларды жағуға және дайындауға мүмкіндік береді.
Тұндырылған пленка қабаттарын қолдану кеңінен қолданылады, оның технологиялары әртүрлі формаларда, типтік түрлері келесідей:
(1) Тепе-тең емес магнетронды тозаңдату және катодты иондық қаптау технологиясының қосылысы.
Оның құрылғысы келесідей көрсетілген. Бұл бағаналы магнетронды нысана және жазық катодты доғалы ионды жабынның құрама жабын жабыны, ол құралды жабатын құрама пленкаға да, сәндік пленка жабынына да жарамды. Құрал жабыны үшін алдымен катодты доғалы ионды жабын негізгі қабатты жабын үшін қолданылады, содан кейін бағаналы магнетронды нысана жоғары дәлдіктегі өңдеу құралының беткі пленкасын алу үшін нитридті және басқа пленка қабаттарын тұндыру үшін қолданылады.
Сәндік жабын үшін TiN және ZrN сәндік пленкаларын алдымен катодтық доғалық жабынмен жабуға болады, содан кейін магнетронды нысаналарды пайдаланып металлмен легирлеуге болады, және легирлеу әсері өте жақсы.
(2) Қос жазықтықты магнетронды және бағаналы катодты доғалы ионды жабу әдістерінің қосылысы. Құрылғы келесідей көрсетілген. Ол екі қатарлас қос нысана технологиясын қолданады, орташа жиілікті қуат көзіне қосылған екі нысана тұрақты токтың шашырауынан, өрттен және басқа да кемшіліктерден нысананың улануын жеңіп қана қоймай; сонымен қатар Al203, SiO2 оксиді сапалы пленкасын тұндыра алады, осылайша қапталған бөлшектердің тотығу төзімділігі артып, жақсарады. Вакуумдық камераның ортасына бағаналы көп доғалы нысана орнатылған, нысана материалы Ti және Zr-ді пайдалануға болады, бұл тек жоғары көп доғалы диссоциация жылдамдығының, тұндыру жылдамдығының артықшылықтарын сақтап қана қоймай, сонымен қатар кіші жазықтықты көп доғалы нысананы тұндыру процесінде «тамшыларды» тиімді түрде азайта алады, металл пленкалардың, қосылыс пленкаларының төмен кеуектілігін тұндыра алады және дайындай алады. Егер Al және Si шеткі аймаққа орнатылған қос жазықтықты магнетронды нысаналар үшін нысана материалы ретінде пайдаланылса, Al203 немесе Si0 металл-керамикалық пленкаларын тұндыра және дайындай алады. Сонымен қатар, периферияға көп доғалы булану көзінің бірнеше шағын жазықтықтарын орнатуға болады, ал оның нысаналы материалы Cr немесе Ni болуы мүмкін, ал металл пленкалар мен көп қабатты композиттік пленкаларды тұндырып, дайындауға болады. Сондықтан, бұл композиттік жабын технологиясы бірнеше қолданылуы бар композиттік жабын технологиясы болып табылады.
Жарияланған уақыты: 2022 жылғы 8 қараша