ማግኔትሮን ስፑተርቲንግ እና ካቶዲክ ባለብዙ-አርክ አዮን ሽፋን የተቀናጀ ቴክኖሎጂ

የማግኔትሮን ስፑተርቲንግ እና የካቶዲክ ባለብዙ አርክ አዮን ሽፋን የተቀናጁ የሽፋን መሳሪያዎች ለብቻቸው እና በአንድ ጊዜ ሊሠሩ ይችላሉ፤ የተጣራ የብረት ፊልም፣ የብረት ውህድ ፊልም ወይም የተቀናጁ ፊልም ሊቀመጡ እና ሊዘጋጁ ይችላሉ፤ አንድ የፊልም ንብርብር እና ባለብዙ ንብርብር የተቀናጁ ፊልም ሊሆን ይችላል።

ጥቅሞቹ እንደሚከተለው ናቸው፡
የተለያዩ የአዮን ሽፋኖችን ጥቅሞች ከማጣመር ባለፈ ለተለያዩ የትግበራ መስኮች ቀጭን ፊልም ማዘጋጀትና ማስቀመጥን ግምት ውስጥ ያስገባል፣ ነገር ግን በአንድ ጊዜ በተመሳሳይ የቫክዩም ሽፋን ክፍል ውስጥ ባለብዙ ንብርብር ሞኖሊቲክ ፊልሞችን ወይም ባለብዙ ንብርብር ኮምፖዚት ፊልሞችን ማስቀመጥና ማዘጋጀት ያስችላል።
የተከማቹ የፊልም ንብርብሮች አተገባበር በስፋት ጥቅም ላይ ውሏል። ቴክኖሎጂዎቹ በተለያዩ ቅርጾች ይገኛሉ፤ እነሱም የሚከተሉት ናቸው፡-
(1) የማይመጣጠን ማግኔቶሮን ስፑተርቲንግ እና የካቶዲክ አዮን ፕላቲንግ ቴክኖሎጂ ውህድ።
መሳሪያው እንደሚከተለው ይታያል። አምድላር ማግኔትሮን ኢላማ እና ፕላነር ካቶዲክ አርክ አዮን ሽፋን ያለው ውህድ ሽፋን መሳሪያ ሲሆን ይህም ለሁለቱም የመሳሪያ ሽፋን ውህድ ፊልም እና ለጌጣጌጥ የፊልም ሽፋን ተስማሚ ነው። ለመሳሪያ ሽፋን፣ የካቶዲክ አርክ አዮን ሽፋን በመጀመሪያ ለመሠረታዊ ንብርብር ሽፋን ጥቅም ላይ ይውላል፣ ከዚያም የአምድ ማግኔትሮን ኢላማ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የማቀነባበሪያ መሳሪያ ወለል ፊልም ለማግኘት ናይትራይድ እና ሌሎች የፊልም ንብርብሮችን ለማስቀመጥ ያገለግላል።
ለጌጣጌጥ ሽፋን፣ TiN እና ZrN የጌጣጌጥ ፊልሞች በመጀመሪያ በካቶዲክ አርክ ሽፋን ሊቀመጡ ይችላሉ፣ ከዚያም በማግኔትሮን ኢላማዎች በብረት ሊታከሙ ይችላሉ፣ እና የዶፒንግ ውጤቱ በጣም ጥሩ ነው።

(2) የሁለት ፕላን ማግኔትሮን እና የአምድ ካቶድ አርክ አዮን ሽፋን ቴክኒኮች ውህድ። መሳሪያው እንደሚከተለው ይታያል። ሁለት ጎን ለጎን መንትያ ኢላማዎች ከመካከለኛ ድግግሞሽ የኃይል አቅርቦት ጋር ሲገናኙ የላቀ መንትያ ኢላማ ቴክኖሎጂ ጥቅም ላይ ይውላል፣ የዲሲ ስፐተርቲንግ ኢላማ፣ የእሳት እና ሌሎች ጉዳቶችን ኢላማ መርዝን ከማሸነፍ ባለፈ Al203፣ SiO2 ኦክሳይድ ጥራት ያለው ፊልም ማስቀመጥ ይችላል፣ ስለዚህም የተሸፈኑ ክፍሎች የኦክሳይድ መቋቋም እንዲጨምሩ እና እንዲሻሻሉ ያደርጋል። በቫክዩም ክፍሉ መሃል ላይ የተተከለው አምድ ባለብዙ-ቅስት ኢላማ፣ የታለመው ቁሳቁስ Ti እና Zr ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል፣ ይህም ከፍተኛ ባለብዙ-ቅስት መበታተን መጠን፣ የማስቀመጫ መጠን ጥቅሞችን ለመጠበቅ ብቻ ሳይሆን፣ በትንሽ ፕላን ባለብዙ-ቅስት ኢላማ ክምችት ሂደት ውስጥ "ጠብታዎችን" ውጤታማ በሆነ መንገድ መቀነስ ይችላል፣ ዝቅተኛ የብረት ፊልሞችን፣ የተዋሃዱ ፊልሞችን ማስቀመጥ እና ማዘጋጀት ይችላል። አል እና ሲ በዳርቻው ላይ ለተጫኑት መንትያ ፕላናር ማግኔትሮን ኢላማዎች ኢላማ ቁሳቁሶች ሆነው ጥቅም ላይ ከዋሉ፣ Al203 ወይም Si0 የብረት-ሴራሚክ ፊልሞች ሊቀመጡ እና ሊዘጋጁ ይችላሉ። በተጨማሪም፣ በርካታ ትናንሽ የብዙ ቅስት ትነት ምንጭ አውሮፕላኖች በዳርቻው ላይ ሊጫኑ ይችላሉ፣ እና የታለመው ቁሳቁስ Cr ወይም Ni ሊሆን ይችላል፣ እና የብረት ፊልሞች እና ባለብዙ ሽፋን ኮምፖዚት ፊልሞች ሊቀመጡ እና ሊዘጋጁ ይችላሉ። ስለዚህ፣ ይህ ኮምፖዚት ኮይን ቴክኖሎጂ በርካታ አፕሊኬሽኖች ያሉት ኮምፖዚት ኮይን ቴክኖሎጂ ነው።