የማግኔትሮን ስፕቲንግ እና የካቶዲክ ባለብዙ-አርክ ion ሽፋን የተቀናጀ ሽፋን መሳሪያዎች በተናጥል እና በአንድ ጊዜ ሊሠሩ ይችላሉ ።የተጣራ የብረት ፊልም, የብረት ድብልቅ ፊልም ወይም የተቀናጀ ፊልም ማስቀመጥ እና ማዘጋጀት ይቻላል;ነጠላ ፊልም እና ባለብዙ ንብርብር ድብልቅ ፊልም ሊሆን ይችላል.
የእሱ ጥቅሞች እንደሚከተለው ናቸው-
የተለያዩ የ ion ሽፋኖችን ጥቅሞች በማጣመር እና ለተለያዩ የትግበራ መስኮች ቀጭን ፊልም ማዘጋጀት እና ማስቀመጥን ግምት ውስጥ ያስገባል, ነገር ግን ባለብዙ-ንብርብር ሞኖሊቲክ ፊልሞችን ወይም ባለብዙ-ንብርብር ድብልቅ ፊልሞችን በተመሳሳይ ቫክዩም ውስጥ ማስቀመጥ እና ማዘጋጀት ያስችላል. ሽፋን ክፍል በአንድ ጊዜ.
የተከማቸ የፊልም ንብርብሮች አፕሊኬሽኖች በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ ቴክኖሎጂዎቹ በተለያዩ ቅርጾች , የተለመዱት የሚከተሉት ናቸው.
(1) ሚዛናዊ ያልሆነ ማግኔትሮን ስፒትቲንግ እና የካቶዲክ ion plating ቴክኖሎጂ ውህድ።
መሳሪያው እንደሚከተለው ቀርቧል።ለሁለቱም የመሳሪያ ሽፋን ድብልቅ ፊልም እና ለጌጣጌጥ ፊልም ሽፋን ተስማሚ የሆነ የአምድ ማግኔትሮን ዒላማ እና የፕላን ካቶዲክ አርክ ion ሽፋን ድብልቅ ሽፋን መሳሪያ ነው።ለመሳሪያው ሽፋን, የካቶዲክ አርክ ion ሽፋን በመጀመሪያ ለመሠረት ንብርብር ሽፋን ጥቅም ላይ ይውላል, ከዚያም የዓምድ ማግኔትሮን ዒላማው የኒትራይድ እና ሌሎች የፊልም ንጣፎችን ለማስቀመጥ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የማቀነባበሪያ መሳሪያ ወለል ፊልም ለማግኘት ያገለግላል.
ለጌጣጌጥ ሽፋን ፣ የቲኤን እና የዜድኤን ጌጣጌጥ ፊልሞች በካቶዲክ አርክ ሽፋን መጀመሪያ ሊቀመጡ ይችላሉ ፣ እና ከዚያም የማግኔትሮን ኢላማዎችን በመጠቀም በብረት ሊቀመጡ ይችላሉ ፣ እና የዶፒንግ ውጤቱ በጣም ጥሩ ነው።
(2) መንትያ አውሮፕላን ማግኔትሮን እና አምድ ካቶድ ቅስት አዮን ሽፋን ዘዴዎች ድብልቅ።መሣሪያው በሚከተለው መልኩ ይታያል.የላቁ መንትያ ኢላማ ቴክኖሎጂ ጥቅም ላይ ይውላል፣ ሁለት ጎን ለጎን መንትያ ኢላማዎች ከመካከለኛው ፍሪኩዌንሲው የኃይል አቅርቦት ጋር ሲገናኙ፣ የዲሲ መትረፍን፣ እሳትን እና ሌሎች ድክመቶችን ኢላማ መመረዝን ማሸነፍ ብቻ ሳይሆን፤እና Al203, SiO2 ኦክሳይድ ጥራት ያለው ፊልም ማስቀመጥ ይችላል, ስለዚህም የተሸፈኑ ክፍሎች oxidation የመቋቋም ጨምሯል እና ተሻሽሏል.በቫኩም ክፍል መሃል ላይ የተጫነው አምድ ባለብዙ-አርክ ዒላማ ፣ የታለመው ቁሳቁስ Ti እና Zr ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል ፣ ይህም ከፍተኛ የብዝሃ-አርክ መበታተን መጠን ፣ የመቀየሪያ መጠን ጥቅማጥቅሞችን ለመጠበቅ ብቻ ሳይሆን በ ውስጥ " ጠብታዎችን" በተሳካ ሁኔታ ለመቀነስ ያስችላል። የአነስተኛ አውሮፕላን ባለብዙ-አርክ ዒላማ አቀማመጥ ሂደት ዝቅተኛ የብረት ፊልሞችን ፣ የተዋሃዱ ፊልሞችን ማስቀመጥ እና ማዘጋጀት ይችላል።Al እና Si በዳርቻው ላይ ለተጫኑት መንታ ፕላነር ማግኔትሮን ዒላማዎች እንደ ዒላማ ቁሳቁሶች ከተጠቀሙ፣ Al203 ወይም Si0 የብረት-ሴራሚክ ፊልሞችን ማስቀመጥ እና ማዘጋጀት ይቻላል።በተጨማሪም በርካታ ትናንሽ አውሮፕላኖች የብዝሃ-አርክ ትነት ምንጭን ከዳርቻው ላይ ሊጫኑ ይችላሉ, እና የታለመው ቁሳቁስ Cr ወይም Ni ሊሆን ይችላል, እና የብረት ፊልሞችን እና ባለብዙ ንብርብር ድብልቅ ፊልሞችን ማስቀመጥ እና ማዘጋጀት ይቻላል.ስለዚህ, ይህ የተዋሃደ ሽፋን ቴክኖሎጂ ከብዙ አፕሊኬሽኖች ጋር የተዋሃደ የማሸጊያ ቴክኖሎጂ ነው.
የልጥፍ ሰዓት፡- ህዳር-08-2022