Magnitron tüýdüginiň we katodiki köp ýaýly ion örtüginiň birleşdirilen örtük enjamlary aýratyn we bir wagtda işläp biler; goýup we arassa metal plyonkany, metal birleşdiriji filmi ýa-da birleşdirilen filmi taýýarlap bolýar; filmiň bir gatlagy we köp gatlakly birleşdirilen film bolup biler.
Onuň artykmaçlyklary aşakdakylar:
Diňe dürli ion örtükleriniň artykmaçlyklaryny birleşdirip, dürli amaly ugurlar üçin inçe filmiň taýýarlanylmagyny we ýerleşdirilmegini göz öňünde tutman, bir wagtyň özünde bir wakuum örtük kamerasynda köp gatly monolit filmleri ýa-da köp gatlakly kompozisiýa filmleri ýerleşdirmäge we taýýarlamaga mümkinçilik berýär.
Goýlan film gatlaklarynyň goşundylary giňden ulanylýar, tehnologiýalary dürli görnüşde bolýar, adaty görnüşler:
(1) Deňagramly däl magnetron tüýdüginiň we katod ion örtük tehnologiýasynyň birleşmesi.
Enjamy aşakdaky ýaly görkezilýär. Sütün magnitron nyşany we planar katod ark ion örtüginiň goşma örtük enjamy, bu hem gural örtügi goşma film we bezeg film örtügi üçin amatly. Gural örtügi üçin ilki esasy gatlak örtügi üçin katod ark ion örtügi ulanylýar, soňra bolsa ýokary takyklykly gaýtadan işleýiş guralynyň üstki filmini almak üçin nitridi we beýleki film gatlaklaryny ýerleşdirmek üçin sütün magnitron nyşany ulanylýar.
Bezeg örtügi üçin TiN we ZrN bezeg filmleri ilki katod arkasy bilen örtülip, soň bolsa magnitron nyşanlary bilen metal bilen dop edilip bilner we doping täsiri gaty gowy.
(2) Ekiz tekiz magnitronyň we sütün katod ark ion örtük usullarynyň birleşmesi. Enjam aşakdaky ýaly görkezilýär. Öňdebaryjy ekiz maksatly tehnologiýa ulanylýar, orta ýygylykdaky elektrik üpjünçiligi bilen baglanyşykly iki gapdaly ekiz nyşana, diňe bir DC-iň ýaýramagynyň, ýangynyň we beýleki kemçilikleriniň maksatly zäherlenmesini ýeňip geçmeýär; örtülen bölekleriň okislenme garşylygy ýokarlandy we gowulaşdyrar ýaly Al203, SiO2 oksidiniň ýokary hilli filmini goýup biler. Wakuum kamerasynyň merkezinde oturdylan sütünli köp ýaýly maksat, maksatly material Ti we Zr ulanylyp bilner, diňe ýokary köp ýaýly bölüniş tizliginiň artykmaçlyklaryny saklamak bilen çäklenmän, kiçijik uçar köp ýaýly maksatly çökdüriliş prosesinde "damjalary" netijeli azaldyp biler, pes film gözenekli metal filmleri, goşma filmleri goýup we taýýarlap biler. Al we Si daş-töwereginde gurlan ekiz planar magnitron nyşanlary üçin maksatly material hökmünde ulanylsa, Al203 ýa-da Si0 metal-keramiki filmleri goýup we taýýarlap bolýar. Mundan başga-da, daş-töwereginde köp ýaýly bugarmak çeşmesiniň birnäçe kiçi uçarlary gurlup bilner we maksatly material Cr ýa-da Ni bolup biler, metal filmler we köp gatly kompozit filmler goýulyp we taýýarlanyp bilner. Şonuň üçin bu birleşdirilen örtük tehnologiýasy, köp sanly programma bilen birleşdirilen örtük tehnologiýasydyr.
Iş wagty: Noýabr-08-2022