Pajisjet e veshjes kompozite të spërkatjes magnetronike dhe veshjes katodike me shumë hark jonik mund të funksionojnë veçmas dhe njëkohësisht; mund të depozitohet dhe përgatitet film metalik i pastër, film i përbërë metalik ose film kompozit; mund të jetë një shtresë e vetme filmi dhe një film kompozit me shumë shtresa.
Përparësitë e saj si më poshtë:
Jo vetëm që kombinon avantazhet e veshjeve të ndryshme jonike dhe merr në konsideratë përgatitjen dhe depozitimin e filmit të hollë për fusha të ndryshme aplikimi, por gjithashtu lejon depozitimin dhe përgatitjen e filmave monolitikë shumështresorë ose filmave kompozitë shumështresorë në të njëjtën dhomë veshjeje me vakum në të njëjtën kohë.
Zbatimet e shtresave të filmit të depozituar përdoren gjerësisht dhe teknologjitë e tyre janë në një sërë formash, tipiket janë si më poshtë:
(1) Përbërja e teknologjisë së spërkatjes magnetronike jo-ekuilibër dhe veshjes me jone katodike.
Pajisja e saj tregohet si më poshtë. Është një pajisje veshjeje e përbërë e objektivit magnetron kolonar dhe veshjes planare jonike me hark katodik, e cila është e përshtatshme si për veshjen e filmit të përbërë të veglave ashtu edhe për veshjen dekorative të filmit. Për veshjen e veglave, veshja katodike jonike me hark përdoret së pari për veshjen e shtresës bazë, dhe më pas objektivi magnetron kolonar përdoret për depozitimin e nitrideve dhe shtresave të tjera të filmit për të përftuar një film sipërfaqësor të veglave për përpunim me saktësi të lartë.
Për veshje dekorative, filmat dekorativë TiN dhe ZrN mund të depozitohen së pari me anë të veshjes me hark katodik dhe më pas të dopamohen me metal duke përdorur shënjestra magnetron, dhe efekti i dopamimit është shumë i mirë.
(2) Teknikat e veshjes me jone të magnetronit binjak planor dhe harkut katodik të kolonës. Pajisja tregohet si më poshtë. Përdoret teknologjia e avancuar e objektivit binjak, kur dy objektiva binjakë krah për krah lidhen me një furnizim me energji me frekuencë të mesme, jo vetëm që kapërcen helmimin e objektivit nga spërkatja DC, zjarrin dhe disavantazhe të tjera; dhe mund të depozitojë film me cilësi oksidi Al203, SiO2, në mënyrë që rezistenca ndaj oksidimit e pjesëve të veshura të rritet dhe përmirësohet. I instaluar në qendër të dhomës së vakumit, materiali i objektivit mund të përdoret Ti dhe Zr, jo vetëm për të ruajtur avantazhet e shkallës së lartë të disociimit me shumë hark, shkallës së depozitimit, por gjithashtu mund të zvogëlojë në mënyrë efektive "pikat" në procesin e depozitimit të objektivit me shumë hark të vogël planor, mund të depozitojë dhe përgatisë një porozitet të ulët të filmave metalikë, filma të përbërë. Nëse Al dhe Si përdoren si materiale objektivi për objektivat binjakë planarë magnetron të instaluar në periferi, filmat metal-qeramikë Al203 ose Si0 mund të depozitohen dhe përgatiten. Përveç kësaj, në periferi mund të instalohen plane të shumëfishta të vogla të burimit të avullimit me shumë hark, dhe materiali i tij i synuar mund të jetë Cr ose Ni, dhe mund të depozitohen dhe përgatiten filma metalikë dhe filma kompozitë shumështresorë. Prandaj, kjo teknologji veshjeje kompozite është një teknologji veshjeje kompozite me zbatime të shumëfishta.
Koha e postimit: 08 nëntor 2022