Awọn ohun elo ti a bo idapọmọra ti sputtering magnetron ati ideri ion olona-arc cathodic le ṣiṣẹ lọtọ ati ni nigbakannaa; le ṣe ifipamọ ati pese fiimu irin mimọ, fiimu idapọpọ irin tabi fiimu apapo; le jẹ ipele kan ti fiimu ati fiimu alapọpọ-pupọ.
Awọn anfani rẹ bi atẹle:
Kii ṣe idapọ awọn anfani nikan ti ọpọlọpọ awọn aṣọ ion ati ṣe akiyesi igbaradi ati ifisilẹ fiimu tinrin fun ọpọlọpọ awọn aaye ohun elo, ṣugbọn tun ngbanilaaye ifisilẹ ati igbaradi ti awọn fiimu monolithic pupọ-Layer tabi awọn fiimu idapọpọ ọpọ-Layer ni iyẹwu igbale kanna ni akoko kan.
Awọn ohun elo ti awọn fẹlẹfẹlẹ fiimu ti a fi silẹ ni lilo pupọ ni awọn imọ-ẹrọ rẹ wa ni ọpọlọpọ awọn fọọmu, awọn aṣoju bii atẹle:
(1) Apapọ ti kii ṣe iwọntunwọnsi magnetron sputtering ati imọ-ẹrọ fifin ion cathodic.
Ẹrọ rẹ ti han bi atẹle. O jẹ ohun elo ti a bo yellow ti ibi-afẹde magnetron columnar ati aabọ ion cathodic arc, eyiti o dara fun fiimu idapọmọra ohun elo mejeeji ati ibora fiimu ohun ọṣọ. Fun ohun elo ti a bo, ohun elo ion cathodic arc ion ni a lo ni akọkọ fun ideri Layer ipilẹ, ati lẹhinna a ti lo ibi-afẹde magnetron iwe fun ifisilẹ ti nitride ati awọn ipele fiimu miiran lati gba fiimu iboju ohun elo ohun elo pipe to gaju.
Fun ohun ọṣọ ti ohun ọṣọ, TiN ati awọn fiimu ohun ọṣọ ZrN le wa ni ifipamọ nipasẹ wiwa cathodic arc akọkọ, ati lẹhinna doped pẹlu irin nipa lilo awọn ibi-afẹde magnetron, ati pe ipa doping dara pupọ.
(2) Awọn yellow ti ibeji ofurufu magnetron ati iwe cathode arc ion ti a bo imuposi. Ẹrọ naa han bi atẹle. O ti lo imọ-ẹrọ ibi-afẹde to ti ni ilọsiwaju, nigbati awọn ibi-afẹde ibeji meji ti ẹgbẹ-nipasẹ-ẹgbẹ ti o ni asopọ si ipese agbara igbohunsafẹfẹ alabọde, kii ṣe nikan bori oloro ibi-afẹde ti DC sputtering, ina ati awọn abawọn miiran; ati ki o le fi Al203, SiO2 oxide didara film, ki awọn ifoyina resistance ti awọn ẹya ara ti a bo ti pọ ati ki o dara. Ibi-afẹde olona-aaki ti Columnar ti a fi sori ẹrọ ni aarin ti iyẹwu igbale, ohun elo ibi-afẹde le ṣee lo Ti ati Zr, kii ṣe lati ṣetọju awọn anfani ti oṣuwọn isọpọ arc pupọ pupọ, oṣuwọn ifisilẹ, ṣugbọn tun le dinku “awọn droplets” ni imunadoko ni ilana ti kekere ọkọ ofurufu olona-aaki ibi-afẹde, le ṣe idogo ati mura porosity kekere ti awọn fiimu irin, awọn fiimu agbo. Ti a ba lo Al ati Si gẹgẹbi awọn ohun elo ibi-afẹde fun awọn ibi-afẹde planar magnetron twin ti a fi sori ẹrọ ni ẹba, awọn fiimu irin-seramiki Al203 tabi Si0 le wa ni ipamọ ati pese sile. Ni afikun, ọpọ awọn ọkọ ofurufu kekere ti orisun evaporation olona-arc ni a le fi sori ẹrọ ni ẹba, ati awọn ohun elo ibi-afẹde rẹ le jẹ Cr tabi Ni, ati awọn fiimu irin ati awọn fiimu apapo multilayer le wa ni ifipamọ ati pese sile. Nitorinaa, imọ-ẹrọ iṣipopada idapọmọra yii jẹ imọ-ẹrọ iṣipopada idapọpọ pẹlu awọn ohun elo pupọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-08-2022