מאַגנעטראָן ספּאַטערינג און קאַטאָדישע מולטי-אַרק יאָן קאָוטינג קאָמפּאָזיט טעכנאָלאָגיע

קאָמפּאָסיט קאָוטינג עקוויפּמענט פון מאַגנעטראָן ספּאַטערינג און קאַטהאָדיק מולטי-אַרק יאָן קאָוטינג קענען אַרבעטן סעפּעראַטלי און סיימאַלטייניאַסלי; קענען זיין דעפּאַזאַט און צוגעגרייט ריין מעטאַל פילם, מעטאַל קאַמפּאַונד פילם אָדער קאָמפּאָסיט פילם; קענען זיין אַ איין שיכט פון פילם און אַ מולטי-שיכט קאָמפּאָסיט פילם.

אירע מעלות ווי פאלגנד:
עס ניט נאָר קאַמביינירט די מעלות פון פֿאַרשידענע יאָן קאָוטינגז און נעמט אין חשבון די צוגרייטונג און דעפּאָזיציע פון ​​דין פילם פֿאַר פֿאַרשידענע פֿעלדער פון אַפּלאַקיישאַן, אָבער אויך אַלאַוז די דעפּאָזיציע און צוגרייטונג פון מולטי-שיכטע מאָנאָליטישע פילמען אָדער מולטי-שיכטע קאָמפּאָזיט פילמען אין דער זעלביקער וואַקוום קאָוטינג קאַמער אין איין מאָל.
די אַפּליקאַציעס פון דעפּאַזיטיד פילם לייַערס זענען וויידלי געניצט, זייערע טעקנאַלאַדזשיז זענען אין אַ פאַרשיידנקייט פון פארמען, די טיפּיש אָנעס זענען ווי גייט:
(1) די קאַמפּאַונד פון ניט-עקוויליבריום מאַגנעטראָן ספּאַטערינג און קאַטאָדיק יאָן פּלייטינג טעכנאָלאָגיע.
איר מיטל ווערט געוויזן ווי פאלגנד. עס איז א קאמפאונד באַדעקונג עקוויפּמענט פון קאָלומנאַר מאַגנעטראָן ציל און פּלאַנאַר קאַטהאָדיש אַרק יאָן באַדעקונג, וואָס איז פּאַסיק פֿאַר ביידע געצייַג באַדעקונג קאמפאונד פילם און דעקאָראַטיווע פילם באַדעקונג. פֿאַר געצייַג באַדעקונג, די קאַטהאָדיש אַרק יאָן באַדעקונג איז געניצט ערשטער פֿאַר די באַזע שיכט באַדעקונג, און דערנאָך די קאָלום מאַגנעטראָן ציל איז געניצט פֿאַר די דעפּאָזיציע פון ​​ניטריד און אנדערע פילם שיכטן צו באַקומען אַ הויך-פּינקטלעך פּראַסעסינג געצייַג ייבערפלאַך פילם.
פֿאַר דעקאָראַטיווע קאָוטינג, קענען TiN און ZrN דעקאָראַטיווע פילמען ערשט דעפּאַזיטירט ווערן דורך קאַטאָדישער באָגן קאָוטינג, און דערנאָך דאָפּירט מיט מעטאַל מיט מאַגנעטראָן טאַרגעץ, און דער דאָפּינג ווירקונג איז זייער גוט.

(2) די קאָמפּאָנענט פון צווילינג-פּלאַן מאַגנעטראָן און קאָלום קאַטאָדע אַרק יאָן קאָוטינג טעקניקס. די דעווייס ווערט געוויזן ווי פאלגנד. עס ניצט די אַוואַנסירטע צווילינג-ציל טעכנאָלאָגיע, ווען צוויי צווילינג-צילן זייַט-ביי-זייַט זענען פארבונדן צו דער מיטל-פרעקווענץ מאַכט צושטעל, ניט נאָר באַזיגט עס די ציל-פאַרסאַמונג פון DC ספּאַטערינג, פייַער און אַנדערע חסרונות; און קען אַוועקלייגן Al203, SiO2 אָקסייד קוואַליטעט פילם, אַזוי אַז די אָקסידאַציע קעגנשטעל פון די באדעקטע טיילן האט געוואקסן און ימפּרוווד. קאָלום-פּלאַן מולטי-אַרק ציל אינסטאַלירט אין צענטער פון דער וואַקוום קאַמער, די ציל מאַטעריאַל קענען זיין געניצט Ti און Zr, ניט נאָר צו האַלטן די אַדוואַנטאַגעס פון הויך מולטי-אַרק דיסאָסיאַציע קורס, דעפּאָזיציע קורס, אָבער אויך קענען עפעקטיוו רעדוצירן "טראָפּאַלז" אין דעם פּראָצעס פון קליין-פּלאַן מולטי-אַרק ציל דעפּאָזיציע, קענען אַוועקלייגן און צוגרייטן אַ נידעריק פּאָראָסיטי פון מעטאַל פילמען, קאַמפּאַונד פילמען. אויב Al און Si ווערן געניצט ווי די ציל מאַטעריאַלן פֿאַר די צווילינג-פּלאַן מאַגנעטראָן צילן אינסטאַלירט בייַ די פּעריפעריע, Al203 אָדער Si0 מעטאַל-קעראַמיק פילמען קענען זיין אַוועקגעלייגט און צוגעגרייט. דערצו, קענען אינסטאלירט ווערן קייפל קליינע פלאכן פון א מולטי-ארג פארדאמפונג קוואל ביים פעריפעריע, און זיין ציל מאטעריאל קען זיין Cr אדער Ni, און מעטאל פילמען און מולטי-שיכטיקע קאמפאזיט פילמען קענען דעפאזיטירט און צוגעגרייט ווערן. דעריבער, איז די קאמפאזיט קאוטינג טעכנאלאגיע א קאמפאזיט קאוטינג טעכנאלאגיע מיט קייפל אנווענדונגען.