Thiết bị phủ hỗn hợp của phương pháp phún xạ magnetron và phủ ion đa hồ quang catốt có thể hoạt động riêng biệt và đồng thời; có thể lắng đọng và chế tạo màng kim loại nguyên chất, màng hợp chất kim loại hoặc màng hỗn hợp; có thể là màng đơn và màng hỗn hợp nhiều lớp.
Ưu điểm của nó như sau:
Nó không chỉ kết hợp những ưu điểm của nhiều lớp phủ ion khác nhau và tính đến việc chuẩn bị và lắng đọng màng mỏng cho nhiều lĩnh vực ứng dụng khác nhau mà còn cho phép lắng đọng và chuẩn bị màng đơn khối nhiều lớp hoặc màng composite nhiều lớp trong cùng một buồng phủ chân không cùng một lúc.
Ứng dụng của lớp màng lắng đọng được sử dụng rộng rãi, công nghệ của nó có nhiều dạng khác nhau, điển hình như sau:
(1) Hợp chất của công nghệ phun magnetron không cân bằng và công nghệ mạ ion catốt.
Thiết bị của nó được thể hiện như sau. Đây là thiết bị phủ hợp chất của mục tiêu magnetron dạng cột và lớp phủ ion hồ quang catốt phẳng, phù hợp cho cả lớp phủ hợp chất dụng cụ và lớp phủ màng trang trí. Đối với lớp phủ dụng cụ, lớp phủ ion hồ quang catốt được sử dụng trước tiên cho lớp phủ lớp nền, sau đó mục tiêu magnetron dạng cột được sử dụng để lắng đọng nitride và các lớp màng khác để thu được lớp phủ bề mặt dụng cụ có độ chính xác cao.
Đối với lớp phủ trang trí, màng trang trí TiN và ZrN có thể được lắng đọng bằng cách phủ hồ quang catốt trước, sau đó pha tạp kim loại bằng bia magnetron, hiệu quả pha tạp rất tốt.
(2) Hợp chất của kỹ thuật phủ ion hồ quang catốt cột và magnetron mặt phẳng đôi. Thiết bị được hiển thị như sau. Nó được sử dụng công nghệ mục tiêu đôi tiên tiến, khi hai mục tiêu đôi cạnh nhau được liên kết với nguồn điện tần số trung bình, nó không chỉ khắc phục được tình trạng ngộ độc mục tiêu do phun DC, cháy và các nhược điểm khác; và có thể lắng đọng màng chất lượng oxit Al203, SiO2, do đó khả năng chống oxy hóa của các bộ phận được phủ đã tăng lên và cải thiện. Mục tiêu nhiều cung dạng cột được lắp đặt ở trung tâm của buồng chân không, vật liệu mục tiêu có thể được sử dụng Ti và Zr, không chỉ duy trì được ưu điểm về tốc độ phân ly nhiều cung cao, tốc độ lắng đọng mà còn có thể giảm hiệu quả "giọt" trong quá trình lắng đọng mục tiêu nhiều cung mặt phẳng nhỏ, có thể lắng đọng và chuẩn bị màng kim loại có độ xốp thấp, màng hợp chất. Nếu sử dụng Al và Si làm vật liệu mục tiêu cho các mục tiêu magnetron mặt phẳng đôi được lắp đặt ở ngoại vi, có thể lắng đọng và chuẩn bị màng gốm kim loại Al203 hoặc Si0. Ngoài ra, có thể lắp đặt nhiều mặt phẳng nhỏ của nguồn bốc hơi đa cung ở ngoại vi, vật liệu mục tiêu có thể là Cr hoặc Ni, có thể lắng đọng và chế tạo màng kim loại và màng composite nhiều lớp. Do đó, công nghệ phủ composite này là công nghệ phủ composite có nhiều ứng dụng.
Thời gian đăng: 08-11-2022