میگنیٹران سپٹرنگ اور کیتھوڈک ملٹی آرک آئن کوٹنگ کمپوزٹ ٹیکنالوجی

میگنیٹران اسپٹرنگ اور کیتھوڈک ملٹی آرک آئن کوٹنگ کے کمپوزٹ کوٹنگ کا سامان الگ الگ اور بیک وقت کام کر سکتا ہے۔ جمع اور خالص دھاتی فلم، دھاتی کمپاؤنڈ فلم یا جامع فلم تیار کی جا سکتی ہے۔ فلم کی ایک پرت اور ایک کثیر پرت جامع فلم ہوسکتی ہے۔

اس کے فوائد درج ذیل ہیں:
یہ نہ صرف مختلف آئن کوٹنگز کے فوائد کو یکجا کرتا ہے اور ایپلی کیشن کے مختلف شعبوں کے لیے پتلی فلم کی تیاری اور جمع کرنے کو مدنظر رکھتا ہے، بلکہ ایک ہی وقت میں ایک ہی ویکیوم کوٹنگ چیمبر میں ملٹی لیئر یک سنگی فلموں یا ملٹی لیئر کمپوزٹ فلموں کو جمع کرنے اور تیار کرنے کی بھی اجازت دیتا ہے۔
جمع شدہ فلمی تہوں کی ایپلی کیشنز بڑے پیمانے پر استعمال کی جاتی ہیں اس کی ٹیکنالوجیز مختلف شکلوں میں ہیں، عام طور پر مندرجہ ذیل ہیں:
(1) غیر متوازن میگنیٹران سپٹرنگ اور کیتھوڈک آئن چڑھانا ٹیکنالوجی کا مرکب۔
اس کا آلہ مندرجہ ذیل کے طور پر دکھایا گیا ہے۔ یہ کالم میگنیٹرون ٹارگٹ اور پلانر کیتھوڈک آرک آئن کوٹنگ کا کمپاؤنڈ کوٹنگ کا سامان ہے، جو ٹول کوٹنگ کمپاؤنڈ فلم اور آرائشی فلم کوٹنگ دونوں کے لیے موزوں ہے۔ ٹول کوٹنگ کے لیے، کیتھوڈک آرک آئن کوٹنگ کو پہلے بیس لیئر کوٹنگ کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، اور پھر کالم میگنیٹران ٹارگٹ کو نائٹرائڈ اور دیگر فلمی پرتوں کو جمع کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے تاکہ ایک اعلیٰ درستگی والی پروسیسنگ ٹول سطح کی فلم حاصل کی جا سکے۔
آرائشی کوٹنگ کے لیے، TiN اور ZrN آرائشی فلموں کو پہلے کیتھوڈک آرک کوٹنگ کے ذریعے جمع کیا جا سکتا ہے، اور پھر میگنیٹران اہداف کا استعمال کرتے ہوئے دھات سے ڈوپ کیا جا سکتا ہے، اور ڈوپنگ اثر بہت اچھا ہے۔

(2) جڑواں طیارہ میگنیٹران اور کالم کیتھوڈ آرک آئن کوٹنگ تکنیک کا مرکب۔ ڈیوائس کو مندرجہ ذیل کے طور پر دکھایا گیا ہے۔ اس میں جدید ٹوئن ٹارگٹ ٹیکنالوجی کا استعمال کیا جاتا ہے، جب دو ساتھ ساتھ جڑواں اہداف درمیانے درجے کی فریکوئنسی پاور سپلائی سے منسلک ہوتے ہیں، یہ نہ صرف ڈی سی سپٹرنگ، آگ اور دیگر خرابیوں کے ہدف کے زہر پر قابو پاتا ہے۔ اور Al203، SiO2 آکسائڈ کوالٹی فلم کو جمع کر سکتا ہے، تاکہ لیپت حصوں کی آکسیکرن مزاحمت میں اضافہ اور بہتر ہو. ویکیوم چیمبر کے وسط میں نصب کالم ملٹی آرک ٹارگٹ، ٹارگٹ میٹریل کو Ti اور Zr استعمال کیا جا سکتا ہے، نہ صرف اعلی ملٹی آرک ڈسوسی ایشن ریٹ، ڈپازیشن ریٹ کے فوائد کو برقرار رکھنے کے لیے، بلکہ چھوٹے ہوائی جہاز کے ملٹی آرک ٹارگٹ ڈیپوزیشن کے عمل میں "بوندوں" کو مؤثر طریقے سے کم کر سکتے ہیں، دھاتی فلموں کی کم پورسٹی، کم پورسٹی، ڈپازٹ اور تیار کر سکتے ہیں۔ اگر Al اور Si کو دائرہ میں نصب جڑواں پلانر میگنیٹران اہداف کے لیے ٹارگٹ میٹریل کے طور پر استعمال کیا جاتا ہے، Al203 یا Si0 دھاتی سیرامک ​​فلمیں جمع اور تیار کی جا سکتی ہیں۔ اس کے علاوہ، ملٹی آرک ایوپوریشن سورس کے متعدد چھوٹے طیارے پیریفری پر نصب کیے جا سکتے ہیں، اور اس کا ہدف مواد Cr یا Ni ہو سکتا ہے، اور دھاتی فلمیں اور ملٹی لیئر کمپوزٹ فلمیں جمع اور تیار کی جا سکتی ہیں۔ لہذا، یہ جامع کوٹنگ ٹیکنالوجی ایک سے زیادہ ایپلی کیشنز کے ساتھ ایک جامع کوٹنگ ٹیکنالوجی ہے.