Магнитрон чәчү һәм катодик күп дугалы ион каплауның композит каплау җиһазлары аерым һәм бер үк вакытта эшли ала; чиста металл пленка, металл кушылма пленка яки композит пленка урнаштырырга һәм әзерләргә мөмкин; фильмның бер катламы һәм күп катламлы композит фильм булырга мөмкин.
Аның өстенлекләре:
Ул төрле ион капламаларының өстенлекләрен берләштереп кенә калмый, төрле куллану өлкәләре өчен нечкә пленка әзерләү һәм урнаштыруны да исәпкә ала, шулай ук бер үк вакуум каплау камерасында күп катлы монолит фильмнарны яки күп катламлы композит фильмнарны урнаштырырга һәм әзерләргә мөмкинлек бирә.
Сакланган кино катламнарын куллану аның технологияләре төрле формаларда кулланыла, гадәттәгечә:
(1) Тигез булмаган магнитрон бөтерелү һәм катод ион каплау технологиясе кушылмасы.
Аның җайланмасы түбәндәгечә күрсәтелә. Бу багана магнитрон максаты һәм планар катод дугасы ион каплауның катлаулы каплау җайланмасы, ул корал каплау кушылма пленка һәм декоратив кино каплау өчен дә яраклы. Корал белән каплау өчен, катод дугасы ион каплавы башта төп катлам каплау өчен кулланыла, аннары багана магнитрон максаты нитрид һәм башка кино катламнарын югары төгәл эшкәртү коралы өслеге пленкасын алу өчен кулланыла.
Декоратив каплау өчен, TiN һәм ZrN декоратив фильмнарны башта катод дугасы каплавы белән урнаштырырга мөмкин, аннары магнитрон мишень ярдәмендә металл белән допинг ясарга була, һәм допинг эффекты бик яхшы.
(2) Игезәк яссылык магнитроны һәм багана катод дугасы ион каплау техникасы кушылмасы. Theайланма түбәндәгечә күрсәтелә. Бу алдынгы игезәк максатчан технология кулланыла, урта ешлыклы электр белән тәэмин итүгә бәйләнгән ике яклы игезәк мишень, ул DC таркату, ут һәм башка кимчелекләрне максатчан агулануны гына җиңми. һәм Al203, SiO2 оксид сыйфатлы пленкасын урнаштыра ала, шулай итеп капланган өлешләрнең оксидлашу каршылыгы көчәя һәм яхшыра. Вакуум камерасы үзәгендә урнаштырылган баганалы күп дуга максаты, максатлы материал Ti һәм Zr кулланылырга мөмкин, югары күп дугадан аерылу дәрәҗәсенең өстенлекләрен саклап калу өчен генә түгел, ә кечкенә самолетның күп дугалы максатлы чүпләү процессында "тамчыларны" эффектив киметә ала, металл пленкаларның, порошоклы фильмнарның аз порозитлыгын урнаштыра һәм әзерли ала. Әгәр дә Al һәм Si перифериядә урнаштырылган игезәк планета магнитрон максатлары өчен кулланылса, Al203 яки Si0 металл-керамик фильмнар урнаштырыла һәм әзерләнә ала. Моннан тыш, перифериядә күп аркалы парга әйләнү чыганагының берничә кечкенә самолеты урнаштырылырга мөмкин, һәм аның максат материалы Cr яки Ni булырга мөмкин, һәм металл пленкалар һәм күпкатлы композицион фильмнар урнаштырылырга һәм әзерләнергә мөмкин. Шуңа күрә, бу композит каплау технологиясе - күп кушымталар белән композицион каплау технологиясе.
Пост вакыты: Ноябрь-08-2022