Thewakuum örtükmaşyn prosesi aşakdakylara bölünýär: wakuum buharlandyrma örtügi, wakuum püskürtme örtügi we wakuum ion örtügi.
1, Wakuum buharlandyryş örtügi
Wakuum şertlerinde, metal, metal garyndysy ýaly materiallary bugardyň, soňra olary substrat ýüzüne ýerleşdiriň. Bugardyň örtük usuly köplenç garşylykly gyzdyrmagy ulanýar, soňra bolsa örtük materialyny elektron şöhlesi bilen bombardman edýär, olary gaz fazasyna bugardyň, soňra bolsa substrat ýüzüne ýerleşdirýär. Taryhy taýdan, wakuum bug çökündisi PVD usulynda ulanylan irki tehnologiýadyr.
2, Püskürtme örtügi
Gaz (Ar) bilen doldurylan wakuum şertlerinde ýalpyldawuk boşalmasyna sezewar edilýär. Şu pursatda argon (Ar) atomlary azot ionlaryna (Ar) öwrülýär. Ionlar elektrik meýdanynyň güýji bilen tizlenýär we örtük materialyndan ýasalan katod nyşanasyna hüjüm edýär, nyşana püskürýär we substratyň ýüzüne ýerleşdirilýär. Püskürtme örtüginde düşen ionlar, adatça, ýalpyldawuk boşalma arkaly alynýar, 10-2pa-dan 10Pa-a çenli aralykda bolýar. Şonuň üçin püskürtme bölejikleri substrata tarap uçanda wakuum kamerasyndaky gaz molekulalary bilen çaknyşmaga aňsatlyk bilen mümkinçilik berýär, bu bolsa hereketiň ugrunyň tesadüfi bolmagyny we ýerleşdirilen plýonkanyň deň bolmagyny üpjün edýär.
3, Ion örtügi
Wakuum şertlerinde, Wakuum şertlerinde, örtük materialynyň atomlaryny ionlara bölekleýin ionlaşdyrmak üçin belli bir plazma ionlaşdyrma usuly ulanyldy. Şol bir wagtyň özünde köp sanly ýokary energiýaly neýtral atomlar öndürilýär, olar substratda negatiw taraply hereket edýär. Şeýlelik bilen, ionlar inçe plýonka emele getirmek üçin substratyň ýüzünde çuňňur negatiw taraply hereket astynda ýerleşdirilýär.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 23-nji marty