দ্যভ্যাকুয়াম কোটিংমেশিন প্রক্রিয়াকে ভাগ করা হয়েছে: ভ্যাকুয়াম ইভাপোরেশন কোটিং, ভ্যাকুয়াম স্পাটারিং কোটিং এবং ভ্যাকুয়াম আয়ন কোটিং।
১. ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ
ভ্যাকুয়াম অবস্থায় ধাতু, ধাতব সংকর ইত্যাদির মতো উপাদানকে বাষ্পীভূত করে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে জমা করা হয়। এই বাষ্পীভবন আবরণ পদ্ধতিতে প্রায়শই রেজিস্ট্যান্স হিটিং ব্যবহার করা হয় এবং তারপর আবরণী উপাদানের উপর ইলেকট্রন রশ্মি নিক্ষেপ করে সেগুলোকে গ্যাসীয় অবস্থায় বাষ্পীভূত করা হয়, যা পরবর্তীতে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে জমা হয়। ঐতিহাসিকভাবে, PVD পদ্ধতিতে ভ্যাকুয়াম ভেপার ডিপোজিশনই ছিল ব্যবহৃত প্রাচীনতম প্রযুক্তি।
২. স্পাটারিং কোটিং
গ্যাসটিকে (Ar) পূর্ণ ভ্যাকুয়াম অবস্থায় একটি গ্লো ডিসচার্জের মধ্য দিয়ে নিয়ে যাওয়া হয়। এই মুহূর্তে আর্গন (Ar) পরমাণুগুলো আয়নিত হয়ে নাইট্রোজেন (Ar) আয়নে পরিণত হয়। আয়নগুলো বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের বল দ্বারা ত্বরান্বিত হয় এবং কোটিং উপাদান দিয়ে তৈরি ক্যাথোড টার্গেটে আঘাত করে। টার্গেটটি স্পাটারিংয়ের মাধ্যমে নির্গত হয়ে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে জমা হয়। স্পাটার কোটিংয়ে আপতিত আয়ন, যা সাধারণত গ্লো ডিসচার্জের মাধ্যমে পাওয়া যায়, তার চাপ 10⁻²pa থেকে 10Pa-এর মধ্যে থাকে। ফলে, স্পাটার হওয়া কণাগুলো সাবস্ট্রেটের দিকে যাওয়ার সময় ভ্যাকুয়াম চেম্বারের গ্যাস অণুগুলোর সাথে সহজেই সংঘর্ষে লিপ্ত হয়, যা তাদের গতির দিককে এলোমেলো করে দেয় এবং জমা হওয়া ফিল্মকে সহজে সুষম করে তোলে।
৩. আয়ন আবরণ
ভ্যাকুয়াম অবস্থায়, একটি নির্দিষ্ট প্লাজমা আয়নীকরণ কৌশল ব্যবহার করে কোটিং উপাদানের পরমাণুগুলোকে আংশিকভাবে আয়নে পরিণত করা হয়। একই সময়ে, অনেক উচ্চ শক্তির নিরপেক্ষ পরমাণু উৎপন্ন হয়, যেগুলোকে সাবস্ট্রেটের উপর নেতিবাচকভাবে বায়াস করা হয়। এইভাবে, একটি গভীর নেতিবাচক বায়াসের অধীনে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে আয়নগুলো জমা হয়ে একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করে।
পোস্ট করার সময়: ২৩ মার্চ, ২০২৩