Michakato ya mashine ya mipako ya utupu ni ipi? Kanuni ya kufanya kazi ni ipi?

Yamipako ya utupuMchakato wa mashine umegawanywa katika: mipako ya uvukizi wa utupu, mipako ya kunyunyizia utupu na mipako ya ioni ya utupu.

1, mipako ya uvukizi wa utupu

Chini ya hali ya utupu, fanya nyenzo zivukie, kama vile chuma, aloi ya chuma, n.k. kisha uziweke kwenye uso wa substrate, njia ya mipako ya uvukizi mara nyingi hutumia joto la upinzani, na kisha boriti ya elektroni ya nyenzo za mipako, zifanye zivukie kwenye awamu ya gesi, kisha ziweke kwenye uso wa substrate, kihistoria, utuaji wa mvuke wa utupu ni teknolojia ya awali iliyotumika katika mbinu ya PVD.

2, mipako ya kunyunyizia

Gesi hutokwa na mwanga chini ya hali ya utupu iliyojazwa (Ar) Wakati huu atomi za argon (Ar) huingia kwenye ioni za nitrojeni (Ar), ioni huharakishwa na nguvu ya uwanja wa umeme, na hushambulia shabaha ya kathodi ambayo imetengenezwa kwa nyenzo ya mipako, shabaha itatokwa na kuwekwa kwenye uso wa substrate. Ioni za matukio katika mipako ya sputter, kwa ujumla hupatikana kwa kutokwa na mwanga, ziko katika kiwango cha 10-2pa hadi 10Pa, Kwa hivyo chembe zilizotokwa na maji ni rahisi kugongana na molekuli za gesi kwenye chumba cha utupu wakati wa kuruka kuelekea substrate, na kufanya mwelekeo wa mwendo kuwa wa nasibu na filamu iliyotundikwa iwe rahisi kuwa sare.

3, mipako ya Ioni

Chini ya hali ya utupu, Chini ya hali ya utupu, mbinu fulani ya ionisheni ya plasma ilitumia ionisheni ya sehemu ya atomi za mipako kuwa ioni. Wakati huo huo atomi nyingi zisizo na nishati nyingi huzalishwa, ambazo zina upendeleo hasi kwenye substrate. Kwa njia hii, ioni huwekwa kwenye uso wa substrate chini ya upendeleo hasi mkubwa ili kuunda filamu nyembamba.