የቫክዩም ሽፋን ማሽን ሂደቶች ምንድናቸው? የስራ መርህ ምንድን ነው?

የየቫክዩም ሽፋንየማሽን ሂደቱ በሚከተሉት ይከፈላል፡ የቫክዩም ትነት ሽፋን፣ የቫክዩም ስፕተርንግ ሽፋን እና የቫክዩም አዮን ሽፋን።

1, የቫክዩም ትነት ሽፋን

በቫክዩም ሁኔታ ውስጥ፣ እንደ ብረት፣ የብረት ቅይጥ፣ ወዘተ ያሉ ቁሳቁሶቹ እንዲተን ያድርጉ፣ ከዚያም በንጣፉ ወለል ላይ ያስቀምጧቸው። የትነት ሽፋን ዘዴው ብዙውን ጊዜ የመቋቋም ማሞቂያዎችን መጠቀም ሲሆን ከዚያም የሽፋን ቁሳቁሱን በኤሌክትሮን ጨረር መምታት፣ ወደ ጋዝ ደረጃ እንዲተን ማድረግ፣ ከዚያም በንጣፉ ወለል ላይ እንዲቀመጡ ማድረግ፣ በታሪክ፣ የቫክዩም ትነት ክምችት በ PVD ዘዴ ውስጥ ጥቅም ላይ የዋለው ቀደምት ቴክኖሎጂ ነው።

2, የስፕተርንግ ሽፋን

ጋዙ በ (Ar) በተሞላ የቫክዩም ሁኔታ ስር ለግላጭ ፈሳሽ ይጋለጣል። በዚህ ጊዜ የአርጎን (Ar) አቶሞች አዮን ወደ ናይትሮጅን አየኖች (Ar) ይቀላቀላሉ። አየኖቹ በኤሌክትሪክ መስክ ኃይል ይጣደፋሉ፣ እና ከሽፋን ቁሳቁስ የተሰራውን የካቶድ ኢላማ ያፈነዳሉ፣ ኢላማው ይበተና በንጣፉ ወለል ላይ ይቀመጣል። በአጠቃላይ በግላጭ ፈሳሽ የሚገኘው በስፕተር ሽፋን ውስጥ ያሉ አየኖች ከ10-2pa እስከ 10Pa ባለው ክልል ውስጥ ናቸው። ስለዚህ የተበተኑት ቅንጣቶች ወደ ንጣፍ ሲበሩ በቫክዩም ክፍል ውስጥ ካሉ የጋዝ ሞለኪውሎች ጋር በቀላሉ ይጋጫሉ፣ ይህም የእንቅስቃሴ አቅጣጫው በዘፈቀደ እና የተቀመጠው ፊልም ወጥ እንዲሆን ቀላል ያደርገዋል።

3, የአዮን ሽፋን

በቫክዩም ሁኔታዎች፣ በቫክዩም ሁኔታ፣ የሽፋን ቁሳቁሶችን አቶሞች ወደ አዮኖች በከፊል አዮኖችን ለማዋሃድ የተወሰነ የፕላዝማ አዮኒዜሽን ዘዴን ተጠቅሟል። በተመሳሳይ ጊዜ ብዙ ከፍተኛ ኃይል ያላቸው ገለልተኛ አቶሞች ይመረታሉ፣ እነዚህም በንጥረ ነገሩ ላይ አሉታዊ አድልዎ አላቸው። በዚህ መንገድ፣ አዮኖች በንጥረ ነገሩ ወለል ላይ ጥልቅ አሉታዊ አድልዎ ስር ተቀምጠው ቀጭን ፊልም ይፈጥራሉ።