그만큼진공 코팅기계 공정은 진공 증착 코팅, 진공 스퍼터링 코팅 및 진공 이온 코팅으로 나뉩니다.
1. 진공 증착 코팅
진공 상태에서 금속, 금속 합금 등의 물질을 증발시켜 기판 표면에 증착하는 증착 코팅 방법은 흔히 저항 가열을 이용하고, 그 후 코팅 물질에 전자빔을 조사하여 기체상으로 증발시킨 후 기판 표면에 증착하는 방식을 사용합니다. 역사적으로 진공 증착은 PVD(물리증착) 방법에서 초기에 사용되었던 기술입니다.
2. 스퍼터링 코팅
가스는 아르곤(Ar)으로 채워진 진공 상태에서 글로우 방전을 겪게 됩니다. 이때 아르곤 원자는 질소 이온(N)으로 이온화됩니다. 이온들은 전기장의 힘에 의해 가속되어 코팅 재료로 만들어진 음극 타겟에 충돌합니다. 타겟은 스퍼터링되어 기판 표면에 증착됩니다. 스퍼터 코팅에서 입사 이온의 압력은 일반적으로 글로우 방전에 의해 얻어지며, 10⁻²Pa에서 10Pa 범위에 있습니다. 따라서 스퍼터링된 입자는 기판으로 날아가는 동안 진공 챔버 내의 가스 분자와 쉽게 충돌하여 이동 방향이 무작위적이 되고 증착된 막이 균일해지기 쉽습니다.
3. 이온 코팅
진공 상태에서 특정 플라즈마 이온화 기술을 사용하여 코팅 재료 원자를 부분적으로 이온화합니다. 동시에 많은 고에너지 중성 원자가 생성되며, 이 원자들은 기판에 음의 전압을 인가합니다. 이러한 방식으로, 깊은 음의 전압 하에서 이온이 기판 표면에 증착되어 박막을 형성합니다.
게시 시간: 2023년 3월 23일