Elrecubrimiento al vacíoEl proceso de mecanizado se divide en: recubrimiento por evaporación al vacío, recubrimiento por pulverización catódica al vacío y recubrimiento iónico al vacío.
1. Recubrimiento por evaporación al vacío
En condiciones de vacío, se evapora el material, como metales, aleaciones metálicas, etc., para luego depositarlo sobre la superficie del sustrato. El método de recubrimiento por evaporación suele utilizar calentamiento por resistencia y, a continuación, bombardeo con haz de electrones del material de recubrimiento para evaporarlo a la fase gaseosa y depositarlo sobre la superficie del sustrato. Históricamente, la deposición de vapor al vacío es la tecnología más antigua utilizada en el método PVD.
2. Recubrimiento por pulverización catódica
El gas se somete a una descarga luminiscente en condiciones de vacío llenas de (Ar). En este momento, los átomos de argón (Ar) se convierten en iones de nitrógeno (Ar). Los iones son acelerados por la fuerza del campo eléctrico y bombardean el objetivo del cátodo, que está hecho del material de recubrimiento. El objetivo se pulverizará y se depositará en la superficie del sustrato. Los iones incidentes en el recubrimiento por pulverización catódica, generalmente obtenidos por descarga luminiscente, están en el rango de 10⁻² Pa a 10 Pa. Por lo tanto, las partículas pulverizadas son fáciles de colisionar con las moléculas de gas en la cámara de vacío cuando vuelan hacia el sustrato, lo que hace que la dirección del movimiento sea aleatoria y la película depositada sea fácilmente uniforme.
3. Recubrimiento iónico
En condiciones de vacío, se utilizó una técnica de ionización de plasma para ionizar parcialmente los átomos del material de recubrimiento en iones. Al mismo tiempo, se producen muchos átomos neutros de alta energía, que tienen una polarización negativa en el sustrato. De esta manera, los iones se depositan en la superficie del sustrato bajo una polarización negativa profunda para formar una película delgada.
Fecha de publicación: 23 de marzo de 2023