Theвакуумдық жабынМашина процесі вакуумдық булану жабыны, вакуумдық тозаңдату жабыны және вакуумдық-иондық жабын болып бөлінеді.
1, вакуумдық булану жабыны
Вакуум жағдайында металл, металл қорытпасы және т.б. сияқты материалды буландырып, содан кейін оларды негіз бетіне жағады. Буландыру жабыны әдісі көбінесе кедергілі қыздыруды, содан кейін жабын материалын электронды сәулемен бомбалауды, оларды газ фазасына буландырып, содан кейін негіз бетіне жағуды қолданады. Тарихи тұрғыдан алғанда, вакуумды бумен тұндыру PVD әдісінде қолданылған алғашқы технология болды.
2, шашырату жабыны
Газ (Ar) толтырылған вакуум жағдайында жарқыл разрядына ұшырайды. Осы кезде аргон (Ar) атомдары азот иондарына (Ar) айналады. Иондар электр өрісінің күшімен үдетіліп, жабын материалынан жасалған катод нысанасын бомбалайды, нысана шашыратылып, субстрат бетіне тұнады. Шашырату жабынындағы түсетін иондар, әдетте жарқыл разрядымен алынатын, 10-2pa-дан 10Pa-ға дейінгі диапазонда болады. Сондықтан шашыраған бөлшектер субстратқа қарай ұшқанда вакуум камерасындағы газ молекулаларымен оңай соқтығысады, бұл қозғалыс бағытын кездейсоқ етеді және тұндырылған пленканы біркелкі етеді.
3, Иондық жабын
Вакуум жағдайында, вакуум жағдайында, жабын материалының атомдарын иондарға ішінара иондау үшін белгілі бір плазмалық иондау әдісі қолданылды. Сонымен қатар, көптеген жоғары энергиялы бейтарап атомдар пайда болады, олар субстратта теріс бағытта орналасқан. Осылайша, иондар жұқа қабықша түзу үшін субстрат бетіне терең теріс бағытта орналасады.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 23 наурыз