Apa saja proses yang dilakukan oleh mesin pelapis vakum? Apa prinsip kerjanya?

Itupelapisan vakumProses permesinan dibagi menjadi: pelapisan penguapan vakum, pelapisan sputtering vakum, dan pelapisan ion vakum.

1. Pelapisan penguapan vakum

Dalam kondisi vakum, material seperti logam, paduan logam, dll., diuapkan, kemudian diendapkan pada permukaan substrat. Metode pelapisan penguapan sering menggunakan pemanasan resistansi, dan kemudian penembakan berkas elektron pada material pelapis, sehingga menguap menjadi fase gas, lalu diendapkan pada permukaan substrat. Secara historis, deposisi uap vakum adalah teknologi awal yang digunakan dalam metode PVD.

2. Pelapisan sputtering

Gas tersebut dikenai lucutan pijar di bawah kondisi vakum berisi (Ar). Pada saat ini, atom argon (Ar) berubah menjadi ion nitrogen (Ar). Ion-ion tersebut dipercepat oleh gaya medan listrik, dan membombardir target katoda yang terbuat dari bahan pelapis. Target tersebut akan terlempar keluar dan mengendap di permukaan substrat. Ion insiden dalam pelapisan sputtering, yang umumnya diperoleh melalui lucutan pijar, berada dalam kisaran 10⁻² Pa hingga 10 Pa. Oleh karena itu, partikel yang terlempar mudah bertabrakan dengan molekul gas di dalam ruang vakum saat terbang menuju substrat, sehingga arah geraknya acak dan lapisan yang diendapkan mudah menjadi seragam.

3. Pelapisan ion

Dalam kondisi vakum, digunakan teknik ionisasi plasma tertentu untuk mengionisasi sebagian atom material pelapis menjadi ion. Pada saat yang sama, banyak atom netral berenergi tinggi dihasilkan, yang diberi bias negatif pada substrat. Dengan cara ini, ion diendapkan pada permukaan substrat di bawah bias negatif yang dalam untuk membentuk lapisan tipis.