دد خلا کوټ کولد ماشین پروسه په برخو ویشل شوې ده: د ویکیوم تبخیر کوټینګ ، د ویکیوم سپټرینګ کوټینګ او د ویکیوم آئن کوټینګ.
1، د ویکیوم تبخیر کوٹنگ
د ویکیوم حالت لاندې، مواد تبخیر کړئ، لکه فلز، فلزي مصر، او داسې نور بیا یې د فرعي سطحې په سطح کې زیرمه کړئ، د تبخیر کوټینګ طریقه اکثرا د مقاومت تودوخې کارول کیږي، او بیا د کوټ کولو موادو د الکترون بیم بمبارۍ، دوی جوړوي. د ګازو په مرحله کې تبخیر کیږي، بیا د سبسټریټ سطح کې زیرمه کیږي، په تاریخي توګه، د ویکیوم بخار زیرمه کول پخوانۍ ټیکنالوژي ده چې په PVD میتود کې کارول کیږي.
2، تودوخه کول
ګاز د (Ar) ډک شوي خلا شرایطو لاندې د ګلو خارج کیدو سره مخ کیږي په دې وخت کې د ارګون (Ar) اتومونه په نایتروجن ایونونو (Ar) بدلیږي، ایونونه د بریښنایی ساحې د ځواک په واسطه ګړندي کیږي، او د کیتوډ هدف بمباري کوي کوم چې د کوټینګ موادو څخه جوړ شوی دی، هدف به توی شي او د سبسټریټ سطحه کې زیرمه شي په سپټر کوټینګ کې د پیښې ایونونه چې په عمومي ډول د ګلو خارج کیدو په واسطه ترلاسه کیږي ، د 10-2pa څخه تر 10Pa پورې دي ، نو د ټوټې ټوټې شوي ذرات سره ټکر کول اسانه دي د خلا په خونه کې د ګاز مالیکولونو سره کله چې د سبسټریټ په لور الوتنه کوي، د حرکت لوري تصادفي او زیرمه شوي فلم د یونیفورم لپاره اسانه کوي.
3، د ایون پوښ
د ویکیوم شرایطو لاندې ، د خلا شرایطو لاندې ، د پلازما ionisation یو ځانګړي تخنیک کارول کیږي ترڅو د پوښ کولو موادو اتومونه په جزوي ډول آیونیز کړي. په ورته وخت کې ډیری لوړ انرژي غیر جانبدار اتومونه تولید کیږي ، کوم چې په منفي ډول په سبسټریټ باندې تعصب کوي. پدې توګه ، آیونونه د ژور منفي تعصب لاندې د سبسټریټ سطح کې زیرمه شوي ترڅو یو پتلی فلم جوړ کړي.
د پوسټ وخت: مارچ-23-2023