ньвакуум бүрхүүлМашины процессыг вакуум ууршуулах бүрхүүл, вакуум цацах бүрхүүл болон вакуум ионы бүрхүүл гэж хуваадаг.
1, Вакуум ууршуулах бүрхүүл
Вакуум нөхцөлд металл, хайлш гэх мэт материалыг ууршуулж, дараа нь суурь гадаргуу дээр байрлуулна. Ууршуулах бүрхүүлийн арга нь ихэвчлэн эсэргүүцлийн халаалтыг ашигладаг бөгөөд дараа нь бүрхүүлийн материалыг электрон цацрагийн бөмбөгдөлтөөр хийн фаз руу ууршуулж, дараа нь суурь гадаргуу дээр байрлуулдаг. Түүхээс харахад вакуум ууршуулах нь PVD аргад ашигласан эртний технологи юм.
2, Шүршигч бүрхүүл
Хий нь (Ar)-ээр дүүрсэн вакуум нөхцөлд гэрэлтсэн цэнэг алдалтад өртдөг. Энэ үед аргон (Ar) атомууд азотын ион (Ar) болж ионждог. Ионууд нь цахилгаан орны хүчээр хурдасч, бүрэх материалаар хийгдсэн катодын байг бөмбөгдөхөд бай цацагдаж, субстратын гадаргуу дээр хуримтлагддаг. Ерөнхийдөө гэрэлтсэн цэнэг алдалтаар олж авсан цацагт бүрхүүл дэх ионууд 10-2pa-аас 10Pa хооронд хэлбэлздэг тул цацагдаж буй хэсгүүд нь субстрат руу нисэх үед вакуум камер дахь хийн молекулуудтай мөргөлдөхөд хялбар байдаг тул хөдөлгөөний чиглэл санамсаргүй болж, хуримтлагдсан хальс жигд болдог.
3, Ионы бүрхүүл
Вакуум нөхцөлд, Вакуум нөхцөлд, бүрхүүлийн материалын атомуудыг ион болгон хэсэгчлэн иончлохын тулд тодорхой плазмын ионжуулалтын аргыг ашигласан. Үүний зэрэгцээ олон тооны өндөр энергитэй саармаг атомууд үүсдэг бөгөөд эдгээр нь суурь дээр сөрөг чиглэлтэй байдаг. Ийм байдлаар ионууд нь суурь гадаргуу дээр гүн сөрөг чиглэлд хуримтлагдаж, нимгэн хальс үүсгэдэг.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 3-р сарын 23