Àwọnìbò afẹ́fẹ́ilana ẹrọ ti pin si: ideri evaporation igbale, ideri sputtering igbale ati ideri ion igbale.
1, Ibora igbale
Lábẹ́ ipò òfo, jẹ́ kí ohun èlò náà gbẹ, bíi irin, irin alloy, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, lẹ́yìn náà, gbé wọn sí orí ilẹ̀ ìsàlẹ̀, ọ̀nà ìfàsẹ́yìn ni láti lo ìgbóná resistance, lẹ́yìn náà, láti bomirin electron beam ti ohun èlò ìbòrí, kí wọ́n gbẹ sínú ipele gaasi, lẹ́yìn náà, kí wọ́n gbó sí orí ilẹ̀ ìsàlẹ̀, ní ìtàn, ìfàsẹ́yìn vacuum vacuum ni ìmọ̀-ẹ̀rọ ìṣáájú tí a lò nínú ọ̀nà PVD.
2, Sputtering bo
Gáàsì náà máa ń tú glow síta lábẹ́ àwọn ipò ìfọ́ tí ó kún fún (Ar). Ní àkókò yìí, àwọn átọ̀mù argon (Ar) yóò di ion nitrogen (Ar), agbára pápá iná mànàmáná yóò sì mú kí àwọn ion náà yára síta, wọn yóò sì fi ohun èlò ìbòrí bo ibi tí a fẹ́, a ó tú àfojúsùn náà jáde, a ó sì fi sínú ojú ilẹ̀ ìpìlẹ̀ náà. Àwọn ion ìṣẹ̀lẹ̀ nínú ìbòrí sputter, tí a sábà máa ń rí nípasẹ̀ ìtújáde glow, wà láàárín 10-2pa sí 10Pa. Nítorí náà, àwọn pàtákì sputter rọrùn láti dojúkọ pẹ̀lú àwọn molecule gaasi nínú yàrá ìfọ́ nígbà tí a bá ń fò lọ sí ibi tí a fẹ́, èyí tí yóò mú kí ìtọ́sọ́nà ìṣípo náà jẹ́ àìṣeéṣe àti fíìmù tí a fi pamọ́ rọrùn láti jẹ́ dọ́gba.
3, Ion ti a bo
Lábẹ́ àwọn ipò ìfọ́mọ́, Lábẹ́ ipò ìfọ́mọ́, Mo lo ọ̀nà ìfọ́mọ́ plasma kan láti sọ àwọn átọ̀mù ohun èlò ìbòrí di ion díẹ̀ sí àwọn ion. Ní àkókò kan náà, ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn átọ̀mù aláìlágbára gíga ni a ń ṣe, èyí tí ó ní ìfọ́mọ́ odi sí orí substrate náà. Ní ọ̀nà yìí, a ń kó àwọn ion sí orí substrate lábẹ́ ìfọ́mọ́ odi jíjìn láti ṣẹ̀dá fíìmù tinrin kan.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-23-2023