ຂະບວນການຂອງເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນຫຍັງ? ຫຼັກການເຮັດວຽກແມ່ນຫຍັງ?

ເທການເຄືອບສູນຍາກາດຂະບວນການເຄື່ອງຈັກແບ່ງອອກເປັນ: ການເຄືອບລະເຫີຍສູນຍາກາດ, ການເຄືອບສະເປເຕີຣິ່ງສູນຍາກາດ ແລະ ການເຄືອບໄອອອນສູນຍາກາດ.

1, ເຄືອບລະເຫີຍສູນຍາກາດ

ພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດ, ເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸລະເຫີຍ, ເຊັ່ນ: ໂລຫະ, ໂລຫະປະສົມ, ແລະອື່ນໆ. ຈາກນັ້ນວາງໄວ້ເທິງໜ້າຜິວຂອງວັດສະດຸ, ວິທີການເຄືອບລະເຫີຍມັກຈະໃຊ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ຕ້ານທານ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນການຍິງລັງສີລຳແສງເອເລັກຕຣອນໃສ່ວັດສະດຸເຄືອບ, ເຮັດໃຫ້ພວກມັນລະເຫີຍເປັນອາຍແກັສ, ຈາກນັ້ນວາງໄວ້ເທິງໜ້າຜິວຂອງວັດສະດຸ. ຕາມປະຫວັດສາດ, ການວາງໄອນ້ຳສູນຍາກາດແມ່ນເຕັກໂນໂລຢີທີ່ໃຊ້ໃນວິທີການ PVD ກ່ອນໜ້ານີ້.

2, ການເຄືອບສະເປເຕີຣິງ

ອາຍແກັສດັ່ງກ່າວຖືກປ່ອຍອອກມາພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດທີ່ເຕັມໄປດ້ວຍ (Ar). ໃນເວລານີ້, ອະຕອມອາກອນ (Ar) ຈະປ່ຽນໄອອອນເປັນໄອອອນໄນໂຕຣເຈນ (Ar), ໄອອອນຈະຖືກເລັ່ງໂດຍແຮງຂອງສະໜາມໄຟຟ້າ, ແລະລະເບີດເປົ້າໝາຍແຄໂທດທີ່ເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸເຄືອບ, ເປົ້າໝາຍຈະຖືກສີດອອກ ແລະວາງໄວ້ເທິງໜ້າຜິວຂອງຊັ້ນວາງ. ໄອອອນທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນການເຄືອບສີດ, ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວໄດ້ຮັບຈາກການປ່ອຍອອກມາ, ແມ່ນຢູ່ໃນລະດັບ 10-2pa ຫາ 10Pa, ດັ່ງນັ້ນອະນຸພາກທີ່ສີດອອກມາຈຶ່ງງ່າຍທີ່ຈະປະທະກັບໂມເລກຸນອາຍແກັສໃນຫ້ອງສູນຍາກາດເມື່ອບິນໄປຫາຊັ້ນວາງ, ເຮັດໃຫ້ທິດທາງການເຄື່ອນໄຫວແບບສຸ່ມ ແລະຟິມທີ່ຝາກໄວ້ຈະງ່າຍເປັນເອກະພາບ.

3, ການເຄືອບໄອອອນ

ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດ, ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດ, ໄດ້ໃຊ້ເຕັກນິກການໄອອອນໄນເຊຊັນຂອງພລາສມາສະເພາະໃດໜຶ່ງເພື່ອເຮັດໃຫ້ອະຕອມວັດສະດຸເຄືອບໄອອອນໄນເຊບາງສ່ວນເຂົ້າໄປໃນໄອອອນ. ໃນເວລາດຽວກັນອະຕອມທີ່ເປັນກາງພະລັງງານສູງຈຳນວນຫຼາຍຖືກຜະລິດ, ເຊິ່ງມີອະຄະຕິທາງລົບຕໍ່ຊັ້ນຮອງພື້ນ. ດ້ວຍວິທີນີ້, ໄອອອນຈະຖືກຝາກໄວ້ເທິງໜ້າຜິວຊັ້ນຮອງພື້ນພາຍໃຕ້ອະຄະຕິທາງລົບເລິກເພື່ອສ້າງເປັນຟິມບາງໆ.