Unsa ang mga proseso sa vacuum coating machine? Unsa ang prinsipyo sa pagtrabaho?

Angvacuum coatingAng proseso sa makina gibahin sa: vacuum evaporation coating, vacuum sputtering coating ug vacuum ion coating.

1, Vacuum evaporation coating

Ubos sa kondisyon sa vacuum, ang materyal moalisngaw, sama sa metal, metal alloy, ug uban pa, dayon ideposito kini sa ibabaw sa substrate. Ang pamaagi sa evaporation coating kasagarang mogamit og resistance heating, ug dayon electron beam bombardment sa coating material, aron kini moalisngaw ngadto sa gas phase, dayon ideposito sa ibabaw sa substrate. Sa kasaysayan, ang vacuum vapor deposition mao ang naunang teknolohiya nga gigamit sa pamaagi sa PVD.

2. Pag-sputtering coating

Ang gas gipailalom sa glow discharge ubos sa (Ar)-filled vacuum conditions. Niining higayona, ang argon (Ar) atoms mausab ngadto sa nitrogen ions (Ar). Ang mga ions mapadali sa kusog sa electric field ug mobomba sa cathode target nga hinimo sa coating material. Ang target mo-sput ug mo-deposito sa ibabaw sa substrate. Ang incident ions sa sputter coating, kasagaran makuha pinaagi sa glow discharge, anaa sa range nga 10-2pa ngadto sa 10Pa. Busa, ang mga sputtered particle dali nga mabangga sa mga molekula sa gas sa vacuum chamber samtang molupad padulong sa substrate, nga maghimo sa direksyon sa paglihok nga random ug ang deposited film dali nga mahimong uniporme.

3. Pagtabon sa ion

Ubos sa mga kondisyon sa vacuum, ubos sa kondisyon sa vacuum, migamit og usa ka piho nga teknik sa plasma ionization aron partially i-ionize ang mga atomo sa coating material ngadto sa mga ion. Sa samang higayon, daghang high energy neutral nga mga atomo ang namugna, nga negatibo nga na-bias sa substrate. Niining paagiha, ang mga ion ideposito sa ibabaw sa substrate ubos sa lawom nga negatibo nga bias aron maporma ang nipis nga pelikula.