Angpatong ng vacuumAng proseso ng makina ay nahahati sa: vacuum evaporation coating, vacuum sputtering coating at vacuum ion coating.
1, Vacuum evaporation coating
Sa ilalim ng kondisyon ng vacuum, pinapasingaw ang materyal, tulad ng metal, metal alloy, atbp., pagkatapos ay idineposito ang mga ito sa ibabaw ng substrate. Ang paraan ng evaporation coating ay kadalasang gumagamit ng resistance heating, at pagkatapos ay electron beam bombardment ng materyal na patong, ginagawa itong evaporated at nagiging gas phase, pagkatapos ay idineposito sa ibabaw ng substrate. Ayon sa kasaysayan, ang vacuum vapor deposition ang naunang teknolohiyang ginagamit sa paraan ng PVD.
2, patong na may sputtering
Ang gas ay sumasailalim sa glow discharge sa ilalim ng (Ar)-filled vacuum conditions. Sa sandaling ito, ang mga atomo ng argon (Ar) ay nagiging nitrogen ions (Ar). Ang mga ions ay pinabibilis ng puwersa ng electric field, at binobomba ang cathode target na gawa sa coating material, ang target ay ibubuga palabas at idedeposito sa ibabaw ng substrate. Ang mga incident ions sa sputter coating, na karaniwang nakukuha sa pamamagitan ng glow discharge, ay nasa hanay na 10-2pa hanggang 10Pa. Kaya ang mga sputtered particle ay madaling bumangga sa mga molekula ng gas sa vacuum chamber kapag lumilipad patungo sa substrate, na ginagawang random ang direksyon ng paggalaw at madaling maging pare-pareho ang idinepositong film.
3, Patong na ion
Sa ilalim ng mga kondisyon ng vacuum, sa ilalim ng kondisyon ng vacuum, gumamit ng isang partikular na pamamaraan ng plasma ionization upang bahagyang i-ionize ang mga atomo ng coating material tungo sa mga ion. Kasabay nito, maraming high energy neutral na atom ang nalilikha, na may negatibong bias sa substrate. Sa ganitong paraan, ang mga ion ay idineposito sa ibabaw ng substrate sa ilalim ng isang malalim na negatibong bias upang bumuo ng isang manipis na pelikula.
Oras ng pag-post: Mar-23-2023