O leufiufi e le masini mitiiaUa vaevaeina le faagasologa o le masini i ni vaega se lua: ufiufi ea evaporation, ufiufi sputtering vacuum ma le ufiufi ion vacuum.
1, ufiufi fa'amamago
I lalo o le tulaga o le vacuum, e fa'amamago ai mea e pei o le u'amea, u'amea fa'afefiloi, ma isi mea fa'apena, ona fa'apipi'i lea i luga o le fogāeleele o le substrate. O le metotia o le ufiufi e fa'amamago ai e masani ona fa'aogaina ai le fa'avevela tete'e, ona fa'apapā lea o le mea ufiufi i le electron beam, ma fa'amamago ai i le tulaga kesi, ona fa'apipi'i lea i luga o le fogāeleele o le substrate. I aso ua mavae, o le vacuum ausa deposition o le tekinolosi muamua lea na fa'aaogaina i le metotia PVD.
2, ufiufi Sputtering
O le kesi e faʻaalia i le susulu o le malamalama i lalo o tulaga o le vacuum e tumu i le (Ar). I le taimi nei, o le argon (Ar) atoms ions e liua i le nitrogen ions (Ar). O le malosi o le eletise e faʻavavevaveina ai ions, ma osofaʻia le cathode target lea e faia i le mea e ufiufi ai, o le a sputtered le target ma teuina i luga o le substrate. O ions faʻafuaseʻi i le sputter coating, e masani ona maua e ala i le glow discharge, e iai i le va o le 10-2pa i le 10Pa. O lea e faigofie ai ona fetoʻai vaega sputtered ma molecules kesi i totonu o le vacuum chamber pe a lele agai atu i le substrate, ma faʻafuaseʻi ai le itu o le gaioiga ma faigofie ai ona tutusa le ata tifaga na teuina.
3, ufiufi Ion
I lalo o tulaga o le vacuum, I lalo o le tulaga o le vacuum, Fa'aaogaina se metotia fa'apitoa o le plasma ionization e fa'a-ionize fa'atasi ai atomu o mea ufiufi i ni ions. I le taimi lava e tasi e tele atomu neutral e maualuga le malosi e gaosia, ia e fa'api'opi'o leaga i luga o le substrate. I lenei auala, e teuina ions i luga o le substrate i lalo o se fa'api'opi'o loloto leaga e fausia ai se ata manifinifi.
Taimi na lafoina ai: Mati-23-2023