ۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسىنىڭ جەريانلىرى نېمە؟ ئىشلەش پىرىنسىپى نېمە؟

بۇۋاكۇئۇم قاپلاشماشىنا جەريانى ۋاكۇئۇم پارغا ئايلاندۇرۇش قاپلاش، ۋاكۇئۇم پۈركۈش قاپلاش ۋە ۋاكۇئۇم ئىئون قاپلاش دەپ ئايرىلىدۇ.

1، ۋاكۇئۇم پارغا ئايلاندۇرۇش قاپلىمى

ۋاكۇئۇم شارائىتىدا، مېتال، مېتال قېتىشمىسى قاتارلىق ماتېرىياللارنى پارغا ئايلاندۇرۇپ، ئاندىن ئۇلارنى ئاساسىي قاتلام يۈزىگە قويۇڭ. پارغا ئايلاندۇرۇش قاپلاش ئۇسۇلىدا كۆپىنچە قارشىلىق كۆرسىتىش قىزىتىش ئۇسۇلى قوللىنىلىدۇ، ئاندىن قاپلاش ماتېرىيالىنى ئېلېكترون نۇرى بىلەن بومباردىمان قىلىپ، ئۇلارنى گاز ھالىتىگە ئايلاندۇرۇپ، ئاساسىي قاتلام يۈزىگە قويۇڭ. تارىختا ۋاكۇئۇم پارغا ئايلاندۇرۇش PVD ئۇسۇلىدا قوللىنىلغان ئەڭ دەسلەپكى تېخنىكا ئىدى.

2، پۈركۈش قاپلىمى

گاز (Ar) بىلەن تولدۇرۇلغان ۋاكۇئۇم شارائىتىدا پارقىراقلىق قويۇپ بېرىشكە ئۇچرايدۇ. بۇ ۋاقىتتا ئارگون (Ar) ئاتوملىرى ئازوت ئىئونلىرىغا (Ar) ئايلىنىدۇ. ئىئونلار ئېلېكتر مەيدانىنىڭ كۈچى بىلەن تېزلىنىدۇ ۋە قاپلاش ماتېرىيالىدىن ياسالغان كاتود نىشانىغا بومباردىمان قىلىنىدۇ، نىشان چاچراپ چىقىپ، ئاساسىي قاتلام يۈزىگە قويۇلىدۇ. پارقىراقلىق قويۇپ بېرىش ئارقىلىق ئېرىشىلگەن پۈركۈش قاپلىمىسىدىكى ئىئونلار ئادەتتە 10-2pa دىن 10Pa غىچە بولىدۇ، شۇڭا چاچراپ كەتكەن زەررىچىلەر ئاساسىي قاتلامغا قاراپ ئۇچقاندا ۋاكۇئۇم كامېراسىدىكى گاز مولېكۇلاسى بىلەن ئاسانلا سوقۇلۇپ، ھەرىكەت يۆنىلىشىنىڭ تاسادىپىي بولۇشىغا ۋە چاپلانغان پەردىنىڭ بىردەك بولۇشىغا شارائىت ھازىرلايدۇ.

3، ئىئون قاپلىمى

ۋاكۇئۇم شارائىتىدا، ۋاكۇئۇم شارائىتىدا، قاپلاش ماتېرىيالى ئاتوملىرىنى قىسمەن ئىئونغا ئايلاندۇرۇش ئۈچۈن بەلگىلىك بىر پلازما ئىئونلاشتۇرۇش تېخنىكىسى قوللىنىلدى. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، نۇرغۇن يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك نېيترال ئاتوملار ھاسىل بولىدۇ، ئۇلار ئاساسىي قاتلامغا مەنپىي يۆنىلىشتە بولىدۇ. بۇ ئۇسۇلدا، ئىئونلار ئاساسىي قاتلام يۈزىگە چوڭقۇر مەنپىي يۆنىلىش ئاستىدا چۆكۈپ، نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ.