Ko tepaninga korehauKua wehea te tukanga miihini ki: paninga whakaetonga korehau, paninga whakaetonga marua me te paninga katote korehau.
1, paninga whakaetonga korehau
I raro i te ahua korehau, kia whakaeto te rauemi, penei i te whakarewa, te koranu whakarewa, me etahi atu ka waiho ki runga i te mata o te tïpako, ko te tikanga whakaetonga whakakikorua he maha te whakamahi i te whakamahana whakawera, katahi ka pupuhihia te kurupae irahiko o te papanga paninga, ka mahia. ka ngotea ki te wahanga hau, katahi ka tuu ki runga i te mata tïpako, o mua, ko te waipara kohu korehau te hangarau o mua i whakamahia i roto i te tikanga PVD.
2、Sputtering paninga
Ka tukuna te hau ki raro i nga tikanga korehau kua whakakiia (Ar) I tenei wa ko te argon (Ar) ngota ngota ki roto i nga katote hauota (Ar), Ka whakaterehia nga katote e te kaha o te papa hiko, ka pupuhi i te taumata cathode. he mea hanga mai i nga mea whakakikorua, ka pupuhihia te whaainga ka waiho ki runga i te mata o te tïpako. Ko nga katote i roto i te paninga mokowhiti, i te nuinga o te wa ka puta mai i te rere o te mura, kei roto i te awhe o te 10-2pa ki te 10Pa，No reira he ngawari ki te tukituki nga matūriki kua pakaru. me nga ngota ngota hau i roto i te ruuma korehau i te wa e rere ana ki te tïpako, ka puta ohorere te ahunga o te nekehanga me te kiriata kua waiho kia ngawari kia rite.
3, paninga katote
I raro i nga tikanga korehau, I raro i te ahua korehau, I whakamahia tetahi tikanga katote plasma ki te katote i nga ngota rauemi whakakikorua ki nga katote. I te wa ano ka puta te maha o nga ngota koretake o te kaha teitei ，he kino te rītaha ki te tïpako. I tenei ara, katote. ka whakatakotoria ki runga i te mata tïpako i raro i te päpätanga kino hohonu kia hanga he kiriata kikokore.
Te wa tuku: Maehe-23-2023