Thevakuum örtüyüMaşın prosesi aşağıdakılara bölünür: vakuum buxarlanma örtüyü, vakuum püskürtmə örtüyü və vakuum ion örtüyü.
1, Vakuum buxarlanma örtüyü
Vakuum şəraitində, metal, metal ərintisi və s. kimi materialların buxarlanmasını təmin edin, sonra onları substrat səthinə yerləşdirin, buxarlanma örtük metodu tez-tez müqavimətli isitmə və sonra örtük materialının elektron şüa bombardmanından istifadə edir, onları qaz fazasına buxarlandırır və sonra substrat səthinə yerləşdirir. Tarixən vakuum buxar çöküntüsü PVD metodunda istifadə edilən daha erkən texnologiyadır.
2, Püskürtmə örtüyü
Qaz (Ar) ilə doldurulmuş vakuum şəraitində parıltılı boşalmaya məruz qalır. Bu anda arqon (Ar) atomları azot ionlarına (Ar) çevrilir. İonlar elektrik sahəsinin qüvvəsi ilə sürətlənir və örtük materialından hazırlanmış katod hədəfini bombardman edir, hədəf püskürərək substrat səthinə çökür. Püskürtmə örtüyündəki düşən ionlar, ümumiyyətlə parıltılı boşalma ilə əldə edilir, 10-2pa ilə 10Pa arasında dəyişir. Beləliklə, püskürən hissəciklər substrata doğru uçarkən vakuum kamerasındakı qaz molekulları ilə asanlıqla toqquşur, bu da hərəkət istiqamətini təsadüfi edir və çökən təbəqənin vahid olmasını asanlaşdırır.
3, İon örtük
Vakuum şəraitində, vakuum şəraitində, örtük material atomlarını qismən ionlaşdırmaq üçün müəyyən bir plazma ionlaşma texnikasından istifadə edilmişdir. Eyni zamanda, substratda mənfi istiqamətdə yerləşən bir çox yüksək enerjili neytral atomlar istehsal olunur. Bu şəkildə, ionlar nazik bir təbəqə əmələ gətirmək üçün substrat səthində dərin mənfi istiqamətdə çökdürülür.
Yazı vaxtı: 23 Mart 2023