ទីថ្នាំកូតបូមធូលីដំណើរការម៉ាស៊ីនត្រូវបានបែងចែកជា៖ ថ្នាំកូតហួតបូមធូលី ថ្នាំកូតបាញ់បូមធូលី និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងបូមធូលី។
1, ថ្នាំកូតហួតដោយបូមធូលី
ក្រោមលក្ខខណ្ឌសុញ្ញកាស ធ្វើឱ្យសម្ភារៈហួត ដូចជាលោហៈ យ៉ាន់ស្ព័រលោហៈជាដើម បន្ទាប់មកដាក់វានៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម វិធីសាស្ត្រថ្នាំកូតហួតជាញឹកញាប់ប្រើកំដៅធន់ ហើយបន្ទាប់មកបាញ់ផ្លោងដោយធ្នឹមអេឡិចត្រុងទៅលើសម្ភារៈថ្នាំកូត ធ្វើឱ្យវាហួតទៅជាដំណាក់កាលឧស្ម័ន បន្ទាប់មកដាក់លើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម តាមប្រវត្តិសាស្ត្រ ការដាក់ចំហាយទឹកក្នុងសុញ្ញកាសគឺជាបច្ចេកវិទ្យាមុនគេដែលប្រើក្នុងវិធីសាស្ត្រ PVD។
2. ថ្នាំកូត Sputtering
ឧស្ម័ននេះត្រូវបានទទួលរងនូវការបញ្ចេញពន្លឺក្រោមលក្ខខណ្ឌសុញ្ញកាសដែលបំពេញដោយ (Ar)។ នៅពេលនេះ អាតូមអារហ្គុង (Ar) ប្រែក្លាយទៅជាអ៊ីយ៉ុងអាសូត (Ar)។ អ៊ីយ៉ុងត្រូវបានបង្កើនល្បឿនដោយកម្លាំងនៃវាលអគ្គិសនី ហើយបាញ់ទៅលើគោលដៅកាតូតដែលធ្វើពីសម្ភារៈថ្នាំកូត គោលដៅនឹងត្រូវបានបាញ់ចេញ ហើយដាក់លើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ អ៊ីយ៉ុងដែលប៉ះទង្គិចនៅក្នុងថ្នាំកូតបាញ់ ជាទូទៅទទួលបានដោយការបញ្ចេញពន្លឺ គឺស្ថិតនៅក្នុងចន្លោះពី 10-2pa ដល់ 10Pa ដូច្នេះភាគល្អិតដែលបាញ់ចេញងាយនឹងប៉ះទង្គិចជាមួយម៉ូលេគុលឧស្ម័ននៅក្នុងបន្ទប់សុញ្ញកាសនៅពេលហោះឆ្ពោះទៅរកស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលធ្វើឱ្យទិសដៅចលនាចៃដន្យ និងខ្សែភាពយន្តដែលដាក់ចេញងាយស្រួលមានឯកសណ្ឋាន។
៣, ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង
ក្រោមលក្ខខណ្ឌសុញ្ញកាស ក្រោមលក្ខខណ្ឌសុញ្ញកាស បានប្រើបច្ចេកទេសអ៊ីយ៉ូដប្លាស្មាជាក់លាក់មួយ ដើម្បីធ្វើឱ្យអាតូមសម្ភារៈថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ូដដោយផ្នែកទៅជាអ៊ីយ៉ុង។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ អាតូមអព្យាក្រឹតថាមពលខ្ពស់ជាច្រើនត្រូវបានផលិត ដែលមានលំអៀងអវិជ្ជមានលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ តាមរបៀបនេះ អ៊ីយ៉ុងត្រូវបានដាក់នៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមក្រោមលំអៀងអវិជ្ជមានជ្រៅ ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៣ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៣