នេះ។ថ្នាំកូតបូមធូលីដំណើរការម៉ាស៊ីនត្រូវបានបែងចែកទៅជាៈ ថ្នាំកូតរំហួតសុញ្ញកាស ថ្នាំកូតស្ពែមស្ពែម និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងសុញ្ញកាស។
1. ថ្នាំកូតរំហួតសុញ្ញកាស
នៅក្រោមលក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះ ធ្វើឱ្យសម្ភារៈហួតចេញ ដូចជាលោហៈ លោហធាតុ លោហធាតុ លោហធាតុ ជាដើម បន្ទាប់មកដាក់ពួកវាលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម វិធីសាស្ត្រនៃថ្នាំកូតរំហួត ជារឿយៗត្រូវប្រើកំដៅធន់ទ្រាំ ហើយបន្ទាប់មកការទម្លាក់ធ្នឹមអេឡិចត្រុងនៃសម្ភារៈថ្នាំកូត ធ្វើឱ្យពួកវា ហួតទៅក្នុងដំណាក់កាលឧស្ម័ន បន្ទាប់មកដាក់លើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម ជាប្រវត្តិសាស្ត្រ ការបំភាយចំហាយទឹកជាបច្ចេកវិទ្យាមុនគេដែលប្រើក្នុងវិធី PVD ។
2. ស្រោបស្រោប
ឧស្ម័នត្រូវបានបញ្ចេញដោយបញ្ចេញពន្លឺក្រោមលក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះដែលបំពេញដោយ (Ar) នៅពេលនេះអាតូម argon (Ar) អ៊ីយ៉ុងទៅជាអ៊ីយ៉ុងអាសូត (Ar) អ៊ីយ៉ុងត្រូវបានពន្លឿនដោយកម្លាំងនៃវាលអគ្គិសនី ហើយទម្លាក់គ្រាប់បែកទៅលើគោលដៅ cathode ដែល ត្រូវបានផលិតឡើងពីសម្ភារៈថ្នាំកូត គោលដៅនឹងត្រូវបានប្រោះចេញ និងដាក់លើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម អ៊ីយ៉ុងឧប្បត្តិហេតុនៅក្នុងថ្នាំកូត sputter ជាទូទៅទទួលបានដោយការបញ្ចេញពន្លឺគឺស្ថិតនៅក្នុងចន្លោះពី 10-2pa ទៅ 10Pa ដូច្នេះភាគល្អិតដែលបែកខ្ញែកងាយនឹងប៉ះទង្គិច។ ជាមួយនឹងម៉ូលេគុលឧស្ម័ននៅក្នុងបន្ទប់ខ្វះចន្លោះពេលហោះហើរឆ្ពោះទៅស្រទាប់ខាងក្រោម ធ្វើឱ្យទិសដៅចលនាចៃដន្យ ហើយខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ទុកមានភាពងាយស្រួលក្នុងឯកសណ្ឋាន។
3. ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង
នៅក្រោមលក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះ នៅក្រោមលក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះ បានប្រើបច្ចេកទេស ionisation ប្លាស្មាជាក់លាក់មួយ ដើម្បីបំភាយ ionise អាតូមសម្ភារៈថ្នាំកូតទៅជា ions។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានោះ អាតូមអព្យាក្រឹតថាមពលខ្ពស់ជាច្រើនត្រូវបានផលិត ដែលមានភាពលំអៀងអវិជ្ជមានលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ តាមរបៀបនេះ អ៊ីយ៉ុង ត្រូវបានដាក់នៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមក្រោមភាពលំអៀងអវិជ្ជមានយ៉ាងជ្រៅដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើង។
ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ២៣-២៣-២០២៣